[发明专利]单晶炉籽晶触液检测装置无效
申请号: | 201210043228.X | 申请日: | 2012-02-24 |
公开(公告)号: | CN103290468A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 吴学军;周凯平 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20 |
代理公司: | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人: | 马长增 |
地址: | 753000 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 籽晶 检测 装置 | ||
1.一种单晶炉籽晶触液检测装置,其特征在于:包括真空接头、传输线、端盖、绝缘件、籽晶组件、PLC及电源;真空接头与端盖的进线口固定连接;真空接头的一端通过传输线与PLC电性连接,真空接头的另一端通过另一条传输线与籽晶组件电性连接;籽晶组件包括收容部、籽晶绳、压轮轴、绳轮及籽晶绳引导部;收容部的顶部与端盖固定连接,传输线从端盖内穿入收容部;收容部内收容压轮轴及绳轮,且收容部与压轮轴、绳轮相对固定,传输线与压轮轴以焊接方式相互固定连接,籽晶绳缠绕在绳轮上;收容部的底部与绝缘件固定连接,籽晶绳引导部固定在绝缘件上且位于收容部正下方,籽晶绳的一端从籽晶绳引导部内穿出,与晶棒连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉籽晶触液检测装置,其特征在于:真空接头为具有真空度的九芯接头。
3.根据权利要求1所述的单晶炉籽晶触液检测装置,其特征在于:籽晶绳由钨材质制成。
4.根据权利要求1所述的单晶炉籽晶触液检测装置,其特征在于:端盖采用不锈钢材料制成。
5.根据权利要求1所述的单晶炉籽晶触液检测装置,其特征在于:传输线与真空接头连接方式是焊接。
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