[发明专利]一种自倾斜微机电系统微镜及其制作方法

权利要求书

1.一种自倾斜微机电系统微镜，包括微镜边框、镜体和驱动臂，镜体通过驱动臂与微镜边框连接，由其驱动偏转倾斜，其特征在于：所述驱动臂在无源初始状态下使镜体处于自倾斜状态。

2.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述驱动臂为一个或多个，向下或向上弯曲。

3.根据权利要求2所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述驱动臂分布在镜体两侧或周边。

4.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述驱动臂由双层或多层组成。

5.根据权利要求4所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述驱动臂中的一层可用作加热电阻。

6.根据权利要求4所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述镜体两侧的驱动臂的构成材料相同但叠层顺序相反。

7.根据权利要求6所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述镜体一侧的驱动臂的材料层从上到下为铝/二氧化硅/铂/二氧化硅，另一侧驱动臂的材料层从上到下为二氧化硅/铂/二氧化硅/铝。

8.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜，其特征在于：所述镜体为单轴、双轴或三轴自倾斜。

9.一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征在于：所述驱动臂为数种热膨胀系数不同的材料叠放而成，在高于室温的工艺制作温度下成平坦结构，冷却到室温释放后驱动臂向热膨胀率高的一方收缩。

10.根据权利要求9所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法：其特征在于：通过改变热膨胀系数不同的材料叠放次序，使驱动臂在室温下向上或向下弯曲。

11.根据权利要求9所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法：其特征在于：通过设置不同长度的驱动臂，使连接在驱动臂上的镜体在室温下自倾斜。

12.根据权利要求9所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法：其特征在于：使用体硅工艺，使倾斜结构的角度可以很大。

13.根据权利要求9所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，特征在于：驱动臂的材料高热膨胀系数的材料为各种金属：铝、铜、镍、铬、金，聚合物：SU-8、Polyimide、PMMA、PDMS，以及碳纤维；热膨胀系数低的材料为各种介电质材料：二氧化硅，金属氧化物，氮化硅，钨。