[发明专利]一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法

权利要求书

1.一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征是，该方法包括下述步骤：

（1）合金靶材的元素重量比含量范围为： Fe38%—45%；Co23.2%—30.2%；Ta（25.4±0.5）%；Zr（6.4±0.5）%，按所设计的合金靶材的元素含量计算所需的Fe、Co、Ta、Zr四种元素的重量；

（2）根据（1）步所需的Fe、Co、Ta、Zr四种元素的重量，取纯度均在99.95%或以上的四种元素Fe、Co、Ta、Zr为原材料；

（3）将（2）步所取的原材料放入坩埚中，进行真空熔炼并浇注成铸锭；熔炼时真空度在10-1Pa或以上，采用高温精炼和低温精炼相结合的方法，高温精炼温度控制在1500℃—1600℃范围内，用于提纯金属，排杂质，低温精炼控制在1350℃—1450℃范围内，用于排放气体，避免气孔存在；浇注温度控制在1450℃—1550℃范围内，浇铸过程中开启电磁搅拌器，参数为：电流160A、频率50HZ、功率16KW，浇注到模具中形成钴铁钽锆的铸锭坯料；

（4）将（3）步所得铸锭坯料机加工成所需形状的靶材。

2.根据权利要求1所述的一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，合金靶材的元素重量比含量范围为：Fe38%—45%；Co23.2%—30.2%；Ta（25.4±0.5）%；Zr（6.4±0.5)%。

3.根据权利要求1所述的一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，高温精炼温度为1500℃—1600℃，低温精炼为1350℃—1450℃。

4.根据权利要求1所述的一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，浇注温度为1450℃—1550℃。

5.根据权利要求1所述的一种新型的垂直磁记录介质软磁性底层用合金靶材FeCoTaZr的制造方法，其特征在于，在浇注中采用的电磁搅拌工艺。