[发明专利]一种贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置及方法

权利要求书

1.一种贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：包括不锈钢箱体(1)以及设置在箱体(1)上的温度表(2)、采光视镜(3)、照明灯(4)及通气阀(5)，所述箱体(1)的前侧壁面上密封连接有观察视镜(6)，所述箱体(1)的前侧壁面下部有手套孔(7)，手套孔(7)上装有耐高温手套，所述箱体(1)左侧面有电源线挠性保护管(8)，所述电源线挠性保护管(8)内通过开关插座电源线，所述箱体(1)左侧面有舱门(9)及通气阀(5)，所述箱体(1)右侧面有一通气阀(5)，所述箱体(1)右侧面与一不锈钢过渡室(10)固定连接，所述过渡室(10)侧面及顶部装有通气阀(5)，所述过渡室(10)顶面装有一个过渡室压力表(11)，所述过渡室设有内门(12)和外门(13)，过渡室内门(12)位于箱体(1)与过渡室(10)之间，所述箱体(1)与过渡室(10)上各通气阀通过气体管路连通。所述箱体(1)内有两个智能加热台(14)与开关插座相连。

2.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述箱体(1)顶面设有温度表(2)，随时获取箱体(1)内温度。

3.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述箱体(1)顶面装有采光视镜(3)及照明灯(4)。

4.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述箱体(1)顶面、左侧面、右侧面及过渡室(10)顶面和前侧面均有通气阀(5)，各通气阀(5)与气体管路连接。

5.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述箱体(1)前侧面上部朝箱体(1)外侧倾斜，与观察者目光呈一定角度，并装有观察视镜(6)。

6.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述箱体(1)前侧面下部手套孔(7)处装有耐高温手套，两者连接处用硅胶垫密封，耐高温手套可换。

7.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：箱体(1)右侧面与过渡室(10)焊接连接，强度高，过渡室(10)位于箱体(1)右侧面中部。

8.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述过渡室(10)顶面装有压力表(11)，随时读取压力值。

9.根据权利要求1所述的贫氧低温烧结纳米银焊膏的装置，其特征是：所述箱体(1)左侧面装有电源挠性保护管(8)，箱体(1)内开关插座电源线通过挠性保护线(8)引出，挠性保护线(8)外端部由密封胶密封。

10.贫氧低温烧结纳米银焊膏的方法，其特征是：通过使用过渡室(10)和耐高温手套将用纳米银焊膏连接的芯片与铜基板或DBC基板的连接结构放在箱体(1)内的智能加热台(14)上对纳米银焊膏进行烧结；保证过渡室与箱体间的内门(12)敞开，打开箱体及过渡室各处的通气阀(5)，往箱体内部充入惰性气体；智能加热台开始按照预先设定的各项参数烧结连接芯片与铜基板或DBC基板的纳米银焊膏；若试验过程中需要放入试样，先将过渡室内门(12)关闭，然后关闭过渡室的过渡室顶部通气阀(5)，打开过渡室外门(13)，放入试样；然后，关闭过渡室外门(13)，打开过渡室顶部通气阀(5)，往过渡室内充入保护性气体，过渡室内空气由过渡室侧面通气阀(5)排除；当过渡室内气体氛围与箱体内气体氛围相同时，关闭过渡室侧面通气阀(5)，打开过渡室内门(12)，试验人员通过耐高温手套拿到试样，然后按需要对试验进行烧结。