[发明专利]一种提高电阻测试精度的方法无效
| 申请号： | 201210047387.7 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN102565538A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 赵敏;尹彬锋;周柯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/14 | 分类号： | G01R27/14 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 电阻 测试 精度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高电阻测试精度的方法，其特征在于，测试方法的步骤如下：
步骤一，将导线连接待测电阻两端并通过数字电压表进行对电阻两端的第一次测量并测量出第一电压值V；
步骤二，对导线连接的所述电阻施加一个电流I；
步骤三，通过所述数字电压表进行对电阻两端的第二次测量并测出第二电压值V’；
步骤四，将所述第二电压值V’减去第一电压值V之后所得的电压值再除以所述电流I，最后得到所述电阻的阻值。
2.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，所述第一电压值V与第二电压值V’均在同一片晶圆的同一个所述电阻上进行的。
3.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，所述导线与所述电阻为串联连接。
4.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，所述测试精度的方法是用于消除测试系统自身引入的噪音对待测电阻的阻值测试精度所造成的偏差。
5.根据权利要求1所述的测试精度的方法，其特征在于，测量出第一电压值V是在所述待测电阻不施加电流时对应的电压。
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