[发明专利]液体喷射头及其制造方法

权利要求书

1.一种液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头包括喷射口构件，所述喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，所述方法包括：

准备设置有树脂层的基板，其中所述树脂层含有光固化性树脂；

执行第一曝光处理和第二曝光处理，其中所述第一曝光处理和所述第二曝光处理均是使所述树脂层进行曝光的曝光处理；以及

在进行了所述第一曝光处理和所述第二曝光处理的所述树脂层中形成所述喷射口，

其中，所述喷射口的通过所述第一曝光处理所形成的侧壁相对于所述基板的倾斜角与所述喷射口的通过所述第二曝光处理所形成的侧壁相对于所述基板的倾斜角不同。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

所述喷射口具有沿与所述排列方向正交的正交方向的侧壁；

所述第一曝光处理是如下的处理：使所述树脂层的与沿所述正交方向的侧壁对应的部分进行曝光，使得比值b/a等于或者大于1，其中，“a”表示所述喷射口的正面侧开口的在所述排列方向上的宽度，“b”表示所述喷射口的背面侧开口的在所述排列方向上的宽度；

所述第二曝光处理是如下的处理：使所述树脂层的与除沿所述正交方向的侧壁以外的其他侧壁对应的部分进行曝光，使得比值d/c大于1，其中，“c”表示所述喷射口的正面侧开口的在所述正交方向上的宽度，“d”表示所述喷射口的背面侧开口的在所述正交方向上的宽度；并且

所述比值d/c大于所述比值b/a。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，所述喷射口的沿与所述排列方向垂直的面截取的截面形状是锥形形状。

4.根据权利要求2所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，所述喷射口的沿与所述正交方向垂直的面截取的截面形状是锥形形状或四边形形状。

5.根据权利要求2所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于：

所述宽度a和所述宽度b相应地是所述喷射口的沿与所述正交方向垂直且通过所述喷射口的中心的面截取的截面形状的上边宽度和下边宽度；以及

所述宽度c和所述宽度d相应地是所述喷射口的沿与所述排列方向垂直且通过所述喷射口的中心的面截取的截面形状的上边宽度和下边宽度。

6.一种液体喷射头，其包括：

基板；以及

设置于所述基板的喷射口构件，所述喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，

其中，所述喷射口的沿与所述排列方向正交的正交方向的侧壁垂直于所述基板，并且所述喷射口的沿所述排列方向的侧壁与所述基板形成锐角。