[发明专利]一种线性坐标校正方法

权利要求书

1.一种线性坐标校正方法，其特征在于，所述方法包括步骤：

在X-Y平台的X方向导轨上设置一个在X方向导轨上可来回移动且镜头垂 直向下拍摄的相机；

在X-Y平台的载物台上设置圆黑点的点阵，建立与X-Y平台具有共同原点 的标准坐标；

X-Y平台依据建立的标准坐标进行走位，使黑圆点能被相机拍摄到，然后 由相机采用光学中心逼近法测量出每个黑圆点对应在X-Y平台中的机器坐标， 建立每个黑圆点的标准坐标与机器坐标之间的对应关系表；

对各个黑圆点的标准坐标与对应的机器坐标进行线性拟合，得到X-Y平台 中任何一点的机器坐标与标准坐标之间的换算公式；

在X-Y平台中任意点的机器坐标，通过上述换算公式换算出对应的标准坐 标，实现对机器坐标的校正。

2.根据权利要求1所述的一种线性坐标校正方法，其特征在于，在载物台 上放置一块透明材质的标定板，并在标定板上建立所述标准坐标。

3.根据权利要求2所述的一种线性坐标校正方法，其特征在于，以标定板 上的其中一个圆黑点作为标准坐标和机器坐标的共同原点。

4.根据权利要求2所述的一种线性坐标校正方法，其特征在于，标定板为 玻璃或透明树脂材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种线性坐标校正方法，其特征在于，所述光学 中心逼近法包括步骤：

选取相机的镜头视野中的一个目标黑圆点作为逼近的目标；

将相机拍摄的图像传入与相机连接的计算机进行处理，求得镜头视野中心 和目标黑圆点中心的坐标差；

将坐标差传输给X-Y平台的执行机构，以此获得X-Y平台下次逼近走位的 机器坐标；

循环往复上述步骤，直到圆黑点中心与镜头视野中心重合。