[发明专利]一种动态配气仪

权利要求书

1.一种动态配气仪，其特征在于，包括稀释气进气铜管、原料气进气管、出气管、控制系统、恒温室、气体混合室、玻璃扩散管及扩散管托架；

其中， 所述气体混合室置于恒温室内；所述玻璃扩散管插入扩散管托架置于气体混合室底部；所述气体混合室底部还设有温度传感器，与扩散管托架底部接触； 

所述稀释气进气铜管、原料气进气管、出气管均穿过恒温室与气体混合室相连通； 

所述控制系统包括微电脑控制器、触摸显示屏、温控器、2个质量流量控制器，其中，所述微电脑控制器分别与所述触摸显示屏、温控器、2个质量流量控制器电联，所述2个质量流量控制器分别与稀释气进气铜管、原料气进气管电联，所述温控器与气体混合室电联。

2. 根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述恒温室还包括电发热丝、保温棉，所述电发热丝缠绕在所述气体混合室外壁，所述保温棉填充于恒温室内壁与气体混合室外壁之间。

3.根据权利要求1或2所述的动态配气仪，其特征在于，所述气体混合室为外表面加工有螺纹刻槽的铝管；所述稀释气进气铜管和电发热丝同时缠绕在所述铝管表面的螺旋刻槽中。

4. 根据权利要求3所述的动态配气仪，其特征在于，所述铝管的外表面为发黑氧化绝缘层，内表面喷涂有耐热、防腐蚀的氟树脂水性双层不粘涂料。

5.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述扩散管托架为铝质圆柱体，上有若干个玻璃扩散管固定插孔。

6. 根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述扩散管托架还设有提手，便于将玻璃扩散管放入气体混合室底部。

7. 根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于，所述恒温室外壁为不锈钢圆筒。