[发明专利]镀膜机修正板结构

说明书

技术领域

本发明涉及用于给滤光片镀膜的镀膜机，特别涉及一种用在镀膜机上的修正板。

背景技术

带通滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件，其被广泛的应用于各种光电产业领域。带通滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的，其利用电介质金属膜的干涉作用从入射光中选取特定波段的光使其通过滤光片。根据不同应用领域的需要，不同的带通滤光片往往需要具有不同的带通波段，这样就需要在透光基片的一侧表面上镀不同厚度的电介质金属膜系，带通越窄的滤光片往往需要在透光基片上镀的电介质金属膜系越厚。

现有镀膜机一般包括一个蒸镀源和一个设置在蒸镀源上方用于承载透光基片的镀膜伞架。在蒸镀时，镀膜伞架转动可使分布在镀膜伞架各处的透光基片的膜厚均一。然而由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的镀膜伞架的中间层圈的膜层较厚，而靠近伞架边缘的膜层较薄。针对这一问题，目前常用的解决方法就是在镀膜伞架与蒸镀源之间设置一修正板，通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正上方透光基片膜层的厚度，修正透光基片不同层圈膜层厚度的差异。现有镀膜机每次进行镀膜时都需要对修正板进行安装定位，操作起来非常的复杂，而且每次定位都会存在一定的差别，这样也会对滤光片的质量造成不利影响。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的是提供一种结构简单、使用方便、易于定位的镀膜机修正板结构。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种镀膜机修正板结构，包括镀膜机，所述镀膜机的真空腔内设有蒸镀源和镀膜伞架，其还包括一支撑柱，所述支撑柱的上端与所述镀膜机真空腔的顶板内壁固定连接，所述支撑柱的下端通过一连接柱与修正板连接，所述修正板位于所述蒸镀源与所述镀膜伞架之间，所述修正板可绕所述连接柱旋转。

优选的，所述连接柱穿过所述修正板，所述连接柱与所述修正板接触的外周面上设有一缺口，所述修正板上设有一定位销，所述定位销位于所述缺口内。

优选的，所述缺口的角度为90°。

优选的，所述修正板为三角形片体。

上述技术方案具有如下有益效果：该镀膜机修正板结构直接在镀膜机真空腔内设置一支撑柱，并通过连接柱连接修正板，这样在进行镀膜时只需将修正板旋转至蒸镀源与镀膜伞架之间，即可进行镀膜，镀膜完成后只需反向旋转修正板至初始位置即可，使用起来非常的方便，而且修正板旋转的角度可控，这样就可以保证每次镀膜时修正板定位的精确性，从而提高滤光片的镀膜质量。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图对本专利进行详细说明。

附图说明

图1为本发明实施例的结构示意图。

图2为本发明实施例连接柱与所述修正板接触处的截面示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的优选实施例进行详细介绍。

如图1、2所示，该镀膜机修正板结构包括镀膜机，在镀膜机的真空腔1内设有蒸镀源3和镀膜伞架2，真空腔1的顶板内壁上还与一支撑柱4的上端固定连接，支撑柱4的下端通过一连接柱5与修正板6连接，修正板6位于蒸镀源3与镀膜伞架2之间，连接柱5穿过修正板6，修正板6可绕连接柱5旋转，修正板6为三角形片体。为方便修正板6的定位，可在连接柱5与修正板6接触的外周面上设置一缺口51，缺口的角度为90°，在修正板6上设置一定位销，定位销位于缺口51内，这样修正板6就只可以在90°角范围内旋转。

该镀膜机修正板结构直接在镀膜机真空腔内设置一支撑柱4，并通过连接柱5连接修正板6，这样在进行镀膜时只需将修正板6旋转至蒸镀源3与镀膜伞架2之间，即可进行镀膜，镀膜完成后只需反向旋转修正板6至初始位置即可，使用起来非常的方便。

修正板6上的定位销位于一个90°的缺口51内，可根据修正板的定位要求，调节缺口51的位置，使修正板6在定位位置时定位销刚好与缺口51的一个侧壁接触，这样每次调节修正板6时，只需将修正板6旋转该位置处(不能旋转时)，从而可有效保证每次镀膜时修正板6定位的精确性，进而提高滤光片的镀膜质量。

以上对本发明实施例所提供的一种镀膜机修正板结构进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡依本发明设计思想所做的任何改变都在本发明的保护范围之内。