[发明专利]一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其特征在于：所述蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。

2.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述靶材致密度为59～70％。

3.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述蒸镀步骤中电子束流为30mA，工作气压为0.51Pa。

4.根据权利要求2所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述靶材致密度为59％。

5.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述掺杂氧化锌中的掺杂元素为第三主族元素。

6.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：其工艺步骤如下：

a.靶材制备：将混合的氧化锌和掺杂离子氧化物纳米粉末压制成靶材块体，烧结成致密度为59～70％的陶瓷靶；

b.基片处理：清洗并安装基片，抽真空至10^-3Pa；将基片加热至200～300℃，转速2r/min；通入氩气，电离清洗5分钟；通入氧气，氩气与氧气的流量比为1∶1.4，将工作气压调至0.4～0.8Pa；

c.蒸镀：开始蒸镀，高压为6kV，电子束流为25～35mA，蒸镀时间为30分钟；

d.退火：蒸镀后400℃退火1小时。

7.根据权利要求6所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：其工艺步骤如下：

a.靶材制备：将混合好的纳米粉末压制成靶材块体，烧结成致密度为59％的陶瓷靶；

b.基片处理：清洗并安装基片，抽真空至10^-3Pa；基片加热至250℃，转速2r/min；通入氩气，电离清洗5分钟；通入氧气，氩气与氧气的流量比为1∶1.4，将工作气压调至0.51Pa；

c.蒸镀：开始蒸镀，高压为6kV，电子束流为30mA，蒸镀时间为30分钟；

d.退火：蒸镀后400℃退火1小时。

8.一种根据权利要求1所述方法制备的掺杂氧化锌薄膜，其特征在于：所述薄膜厚度为200～300nm，方块电阻为50～130Ω/□，透光率＞90％。

9.一种掺杂氧化锌薄膜在制备太阳能电池、平板显示器或发热薄膜中的应用。