[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其在被成膜材料上进行成膜材料的成膜，其特征在于，具备有：

成膜室，容纳所述被成膜材料并进行成膜处理；

传送构件，设置在所述成膜室的内部，传送所述被成膜材料；

窗部，设置在划分所述成膜室的壁部上且具有透射光的透射部，可实现光从所述成膜室的外部向内部的投射；

检测构件，设置在所述成膜室的外部，使感测光透射所述窗部的所述透射部来投射，从而检测所述成膜室的内部有无所述被成膜材料；及

沉积抑制构件，抑制所述成膜材料向所述透射部的沉积。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述沉积抑制构件使附着于所述透射部的成膜材料蒸发，并且抑制所述成膜材料向所述透射部的附着。

3.如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

所述沉积抑制构件具备有加热所述透射部的加热部。

4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述加热部设置在比所述壁部更靠所述成膜室的内部的一侧。

5.如权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述窗部具备筒状部，所述筒状部设置在比所述壁部更靠所述成膜室的内部的一侧，并且使所述感测光通过空心部，

在所述筒状部的所述空心部设置有所述透射部，

所述加热部被设置为包围所述筒状部的所述端部的侧面和所述透射部。

6.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述加热部设置在比所述壁部更靠所述成膜室的外部的一侧。

7.如权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述窗部具备筒状部，所述筒状部设置在比所述壁部更靠所述成膜室的外部的一侧，并且使所述感测光通过空心部，

在所述筒状部的所述空心部设置有所述透射部，

所述加热部被设置为包围所述筒状部的所述端部的侧面和所述透射部。

8.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述窗部具备：

筒体，所述筒体设置在比所述透射部更靠所述成膜室的内部的一侧并具有使所述感测光通过的空心部；及

第2透射部，设置在所述空心部内，透射所述感测光，

所述透射部通过所述筒体和所述第2透射部而与漂浮有所述成膜材料的空间隔开，

所述第2透射部被设置为可相对于所述筒体自如地装卸。

9.如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜材料为硒。