[发明专利]光偏转器的驱动器及其设定方法

权利要求书

1.一种用于驱动光偏转器的驱动器，所述光偏转器包括：

反射镜；

可动框，其用于支承所述反射镜；

支承体，其包围所述可动框；以及

用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器，

所述压电致动器在每个致动器处折返并且从所述支承体连接到所述可动框，每个所述压电致动器都与所述反射镜的一个轴平行，

所述驱动器生成具有第一锯齿波的第一驱动电压并将所述第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器，

所述驱动器生成具有与所述第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器，

所述第一锯齿波与所述第二锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制取决于所述压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的固有频率。

2.根据权利要求1所述的驱动器，其中，仅将所述第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器而不施加所述第二驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度等于仅将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器而不施加所述第一驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度。

3.根据权利要求1所述的驱动器，其中，每个所述第一锯齿波都具有第一上升时段和大于所述第一上升时段的第二下降时段，并且每个所述第二锯齿波都具有与所述第一下降时段相对应的第二上升时段和与所述第一上升时段相对应的第二下降时段，

所述第二驱动电压的所述第二上升时段的开始点晚于所述第一驱动电压的所述第一上升时段的开始点，

所述第一驱动电压的所述下降时段的开始点与所述第二驱动电压的所述上升时段的开始点之间的时间差为所述机械振动系统的所述固有频率的半周期。

4.根据权利要求3所述的驱动器，其中，所述第一锯齿波和所述第二锯齿波的频率为60Hz，并且所述第一驱动电压的所述第一上升时段与所述第一下降时段的比是9∶1，并且所述第二驱动电压的所述第二上升时段与所述第二下降时段的比是1∶9。

5.根据权利要求3所述的驱动器，其中，所述第一驱动电压的所述第一上升时段的开始点与所述第二驱动电压的所述第二上升时段的开始点之间的相位差的绝对值在零以外的预定值附近。

6.一种设定用于驱动光偏转器的驱动数据的方法，所述光偏转器包括：

反射镜；

可动框，其用于支承所述反射镜；

支承体，其包围所述可动框；以及

用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与所述第一组压电致动器交替的第二组压电致动器，

所述压电致动器在每个致动器处折返并且从所述支承体连接到所述可动框，每个所述压电致动器都与所述反射镜的一个轴平行，

所述方法包括以下步骤：

设定对于分别用于所述第一组压电致动器和所述第二组压电致动器的第一驱动电压和第二驱动电压公用的周期；

指定上升时段与下降时段的比，以选择形成具有所述上升时段和所述下降时段的锯齿波的用于所述第一组压电致动器的第一驱动数据，其中，所述上升时段和所述下降时段之和等于所设定的周期；以及

反转并移位所述第一驱动数据以获得用于所述第二组压电致动器的第二驱动数据，

所述第一驱动数据的移位量是与取决于所述压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的固有频率的半波长相对应的值。

7.根据权利要求6所述的方法，该方法还包括以下步骤：使仅将所述第一驱动数据的第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器而不施加所述第二驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度等于仅将所述第二驱动数据的第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器而不施加所述第一驱动电压时所述反射镜的偏转角的幅度。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，第一驱动电压的所述上升时段和所述第二驱动电压的所述下降时段大于所述第一驱动电压的所述下降时段和所述第二驱动电压的所述上升时段，

所述第二驱动电压的所述上升时段的开始点晚于所述第二驱动电压的所述上升时段的开始点，

所述第一驱动电压的所述下降时段的开始点与所述第二驱动电压的所述上升时段的开始点之间的时间差为取决于所述压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的所述固有频率的半周期。