[发明专利]一种用于检测电试样的电检测装置及电检测方法

说明书

本申请是申请号为200910151186.X的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于检测电试样的电检测装置，包括一个线路基板，该线路基板通过触点间距转换器电连接到一个检测头，其中，该线路基板机械连接至一个第一加强装置并因此被加强。

背景技术

前述类型的电检测装置是已知的，被用于电接触一个电试样，例如晶片。这包括物理接触，通过物理接触，连接到检测试样电性能的检测装置的电路被接通。通过这种方式，可以将可靠性好的试样与可靠性差的试样区分开来。已知的电检测装置包括一个线路基板，该线路基板通过一个触点间距转换器与一个检测头电连接。检测头的触针与所述触点间距转换器电连接，用于所述试样的触点接通。所述线路基板连接至前述检测装置。因此，由于不断增加的集成密度，试样的触点间距非常小，为了增加可被检测的布线密度，在接触头和线路基板间布置了触点间距转换器，该转换器将检测头的触针的小触点间距转变为较大的触点间距，其中，较大的触点间距与线路基板上相同大小的触点间距相互关联，且线路基板优选地实现触点间距的进一步放大，最后，触点间距较大的线路基板触头通过适合的导线或类似电缆与检测装置连接。由于所述线路基板和接触头之间设有至少一个电连接所需的组件，因此，相关部件并不总是能够相互对准以实现触点接通，从而使这种电检测装置的可靠性受到质疑。因此，值得注意的是，接触头与触点间距转换器仅仅是物理电接触，而触点间距转换器与线路基板也仅仅是物理电接触。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种用于检测电试样的电检测装置，该检测装置具有高度的接触可靠性和功能可靠性，从而能够准确地检测电试样。

本发明的目的通过如下方式实现：至少一个穿过所述线路基板的间隔装置与所述触点间距转换器机械连接，并通过倾斜调节装置固定于所述第一加强装置上。当给予一个高的检测接触密度时，作用于所述线路基板上的总的物理接触力可以非常大。为避免由于上述接触力导致线路基板的机械变形，第一加强装置被装在所述线路基板上。为了实现接触头和线路基板之间的无故障物理电连接——两者之间布置触点间距转换器以及其它可能的电连接装置(连接器)——本发明规定，触点间距转换器(空间转换器)相对于线路基板的倾斜度可调。为此，设置了倾斜调节装置，该调节装置通过至少一个穿过所述线路基板并与所述触点间距转换器机械连接的间隔装置调节倾斜度。特别是设置了一个倾斜元件，该倾斜元件通过所述至少一个穿过线路基板的间隔装置与所述触点间距转换器机械连接，并通过所述倾斜调节装置固定于所述第一加强装置上，并且倾斜度为可调的。因此，所述加强装置和倾斜元件组成了一个由所述间隔装置操纵的刚性结构，所述线路基板设置于这两个部分之间。然而，由于所述线路基板被所述至少一个间隔装置穿过，倾斜板的倾斜转动通过所述间隔装置，使触点间距转换器产生相应的运动，但线路基板的位置不会因此而改变。所述至少一个间隔装置优选无物理接触地穿过所述电路板上的至少一个孔。为能使倾斜元件能够相对于所述线路基板倾斜，倾斜元件通过倾斜调节装置被固定于第一加强装置上，而所述第一加强装置与所述线路基板连接且不可移动。如果倾斜元件相对于所述第一加强装置倾斜，这将引起触点间距转换器(也称为空间转换器)相对于所述线路基板出现相应的倾斜运动。无论本发明的具体实施例中是否具有倾斜元件，触点间距转换器的基准面均相对于线路基板的基准面调整倾斜度。通过这种方式，触点间距转换器与线路基板可以以正确的方式相互对准，从而在检测头的触针和电试样(晶片)之间实现良好的接触，同时，保证了与线路基板——必要时中间布置电连接装置(连接器)——的良好接触。

根据本发明的一个实施形式，所述间隔装置穿过所述第一加强装置。这样，间隔装置就延伸到第一加强装置上远离线路基板的一侧，从而使那里能够设置倾斜调节装置。

根据本发明的另一个实施形式，线路基板具有第一触点表面，该触点表面通过接触装置连接于触点间距转换器的对向触点表面。这里所述的接触装置即前述的电连接装置，也称连接器。该接触装置与线路基板的第一触点表面物理接触，同时与触点间距转换器的对向触点表面物理接触。

如果接触装置能够补偿线路基板与触点间距转换器之间由于倾斜调节而造成的角度偏差，这将是有利的。为此，接触装置具有灵活的结构，这样，当在线路基板的基准面与触点间距转换器的基准面之间进行倾斜调节时，接触装置保持着与所述线路基板的第一触点表面之间以及触点间距转换器的对向触点表面之间的物理接触。