[发明专利]氩精馏工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种将含有沸点高于氩气的其它气体的粗氩气精馏的工艺。

背景技术

现有技术中，在对含有沸点高于氩气的其它气体的粗氩气进行精馏时，其所需的冷量通常由液氩提供，运行成本较高。

发明内容

本发明的目的是提供一种降低运行成本、由氮循环提供冷量的氩精馏工艺。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种氩精馏工艺，将含有沸点高于氩气的其它气体的粗氩气冷却后送入精馏塔中精馏，所述的精馏塔的底部设置有液氩蒸发器，所述的精馏塔的顶部设置有废气冷凝器，在所述的精馏塔的底部获得纯液氩，所述的液氩蒸发器中的液氩蒸发后作为所述的精馏塔的上升气流，在所述的精馏塔的顶部得到含有少量氩气的废气，精馏所述的粗氩气所需的冷量由氮循环提供；

压缩氮气经冷却后送入所述的液氩蒸发器中冷凝为液氮，所述的液氮通过节流后送入所述的废气冷凝器中冷凝所述的废气，经冷凝后的废气作为所述的精馏塔的回流液，所述的液氮在所述的废气冷凝器中气化成氮气并经过复热后进入压缩机压缩成为所述的压缩氮气从而进行所述的氮循环。

优选的，所述的压缩氮气、所述的粗氩气在主换热器中冷却，所述的氮气在所述的主换热器中复热。

优选的，所述的氩精馏工艺在保冷箱中进行。

优选的，所述的废气冷凝器还连接有液氮补充通道。

优选的，所述的粗氩气经净化装置净化后送入所述的精馏塔。

优选的，所述的净化装置包括两个或多个净化筒、电加热炉，一部分所述的废气通入所述的电加热炉中加热后成为所述的净化筒的再生气。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：由于本发明采用氮循环作为氩精馏的冷源，可以降低精馏工艺的运行成本。

附图说明

附图1为本发明的氩精馏工艺的原理图。

以上附图中：1、粗氩气；2、净化筒；3、电加热炉；4、净化后的粗氩气；5、废气；6、产品氩气；7、压缩氮气；8、复热后的氮气；9、主换热器；10、废气冷凝器；11、精馏塔；12、液氩蒸发器；13、液氮过冷器；14、保冷箱。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作进一步描述。

实施例一：参见附图1所示。

一种氩精馏工艺，将含有沸点高于氩气的其它气体的粗氩气1冷却后送入精馏塔11中精馏。沸点高于氩气的其它气体指氮气或氢气等其它气体单质或混合气体。该粗氩气1一般来自用氩气做保护气的单晶硅和多晶硅及其它含有氩气的混合气提氩。

氩精馏工艺在保冷箱14中进行，保冷箱14中设置有主换热器9、精馏塔11、废气冷凝器10、液氮过冷器13。精馏塔11的底部设置有液氩蒸发器12，废气冷凝器10设置在精馏塔11的顶部。

首先将粗氩气1通入净化装置中净化，净化装置包括两个或多个净化筒2、电加热炉3。净化后的粗氩气4进入保冷箱14并在主换热器9中冷却后送入精馏塔11中精馏，在精馏塔11的底部获得纯液氩，纯液氩在主换热器9中复热后成为产品氩气6。

液氩蒸发器12中的液氩蒸发后作为精馏塔11的上升气流，在精馏塔11的顶部得到含有少量氩气的废气5，该废气5还含有氮气或其它沸点高于氩气的气体。一部分废气5通入电加热炉3中加热后成为净化筒2的再生气。另一部分废气5进入废气冷凝器10中冷凝后作为精馏塔11的回流液。若废气5不足可以用氮气补充。

精馏粗氩气1所需的冷量由氮循环提供。经压缩机压缩后的压缩氮气7送入保冷箱14中并在主换热器9中冷却后送入液氩蒸发器12中冷凝为液氮，液氮通过液氮过冷器13过冷并经节流后送入废气冷凝器10中用作冷凝废气5，废气冷凝器10还连接有液氮补充通道，以补充保冷箱14的跑冷损失及复热不足。液氮在废气冷凝器10中气化成氮气并经过液氮过冷器13及主换热器9复热后进入压缩机压缩成为压缩氮气7从而进行氮循环。

由于本工艺采用氮循环作为精馏氩的冷源，可以降低氩精馏的运行成本。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。