[发明专利]一种气体稳压定量稀薄化部件及其用途无效
申请号: | 201210054181.7 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN102608343A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 余剑;杨娟;岳君容;高士秋;许光文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院过程工程研究所 |
主分类号: | G01N35/10 | 分类号: | G01N35/10 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王雪梅 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 稳压 定量 稀薄 部件 及其 用途 | ||
1.一种气体稳压定量稀薄化部件,按进样气体流向包括三通接头(T1)、真空稀薄室(S1)、真空调节系统,真空稀薄室(S1)通过三通接头(T1)与进样气体连接,三通接头(T1)另一接口与其他检测器(J2)连接或排空;真空稀薄室(S1)除气体进气与出气支路外的另一侧支路与真空调节系统连接,进样气体经真空稀薄室(S1)进入检测器(J1)。
2.如权利要求1所述的气体稳压定量稀薄化部件,其特征在于,所述三通接头(T1)优选通过阀门(F1)与真空稀薄室(S1)相连,其中阀门(F1)进气口与三通接头(T1)相连,出口与真空稀薄室(S1)连接,阀门(F1)还可位于三通接头(T1)与检测器(J2)之间,其中阀门(F1)进气口位于三通接头(T1)一侧,出口位于检测器(J2)一侧,特别优选阀门(F1)位于三通接头(T1)与真空稀薄室(S1)之间;优选地,所述阀门(F1)为截止阀、闸阀、旋塞阀、球阀、蝶阀、针型阀中的1种或至少2种的组合,特别优选为针型阀。
3.如权利要求1或2所述的气体稳压定量稀薄化部件,其特征在于,真空稀薄室(S1)与真空表(B1)直接相连,特别优选真空表(B1)位于真空稀薄室(S1)上除气体进气支路、出气支路或真空调节系统支路外的另一支路上;
优选地,所述真空调节系统包括真空调节阀(F2)或/和真空泵(V1),特别优选包括真空调节阀(F2)和真空泵(V1),真空调节阀(F2)、真空泵(V1)、真空稀薄室(S1)通过三通接头(T2)连接。
4.如权利要求1-3任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件,其特征在于,所述真空稀薄室(S1)优选温度可控;优选通过温控系统维持真空稀薄室(S1)内气体温度的稳定;
优选地,所述三通接头(T1)另一接口经流量计(M2)与其他检测器(J2)连接,或经流量计(M2)后排空;
优选地,所述流量计(M2)位于三通接头(T1)与真空稀薄室(S1)之间;
优选地,所述检测器(J1)为真空检测器,特别优选为质谱或/和红外分析测试系统;所述检测器(J1)可以为1个检测器或2个以上检测器并联、串联或串并联结合使用。
5.如权利要求1-4任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件,其特征在于,所述检测器(J2)为所属领域所需任意检测器;所述检测器(J2)为1个检测器或2个以上检测器并联、串联或串并联结合使用;
优选地,所述流量计(M2)为转子流量计。
6.如权利要求1-5任一项所述的气体稳压定量稀薄化部件,其特征在于,所述气体稳压定量稀薄化部件包括三通接头(T1)、针型阀(F1)、真空稀薄室(S1)、真空表(B1)、真空调节阀(F2)、真空泵(V1),针型阀(F1)进气口通过三通接头(T1)与进样气体连接,针型阀(F1)出气口与真空稀薄室(S1)相连,真空稀薄室(S1)为一个可控温小腔室,其进气口与针型阀(F1)出口连接,其出气口与检测器(J1)连接;真空稀薄室(S1)上除气体进气与出气支路外,还另外具有两条支路,其中一条支路通过三通接头(T2)与真空泵(V1)连接,三通接头(T2)的支管与真空调节阀(F2)连接,并通过单独的温控系统维持腔体内气体温度的稳定,另一条支路与真空表连接。
7.一种气体稳压定量稀薄化方法,包括以下步骤:
(1)调节真空稀薄室(S1)中的真空度,并使其稳定;
(2)调节进入检测器(J1)、检测器(J2)的气量;
(3)气体经流量计(M1)稳流后,通过三通接头(T1)进入检测器(J1),大量气体通过三通接头(T1)进入检测器(J2)。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
(1)启动真空泵(V1),从真空稀薄室(S1)中抽出气体;
(2)通过真空调节阀(F2)的开度控制调节真空稀薄室(S1)中的真空度,并使其稳定;
(3)通过针型阀(F1)与三通接头(T1)的联合控制,调节进入检测器(J1)、检测器(J2)的气量;
(4)气体经流量计(M1)稳流后,通过三通接头(T1)进入针型阀(F1),通过针型阀(F1)的阀开度调节,少量甚至痕量气体进入检测器(J1),大量气体通过三通接头(T1)进入检测器(J2)。
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