[发明专利]柔性CIGS太阳电池背电极层的制备工艺

权利要求书

1.一种柔性铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池背电极层的制备工艺，其特征在于：利用卷对卷(ROLL-TO-ROLL)的生产工艺，在柔性不锈钢衬底上依次沉积铬隔离层、钼层，做为CIGS吸收层的预制层及电池的背电极层。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池的衬底为25～100μm厚的不锈钢带。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：铬隔离层与钼层的制备均采用卷对卷(Roll-To-Roll)的镀膜方式，并且都利用直流磁控溅射的方法制备。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：首先利用直流磁控溅射的方法在衬底上镀一层铬，厚度为1～2μm。镀金属铬的目的是阻止不锈钢衬底中得Fe元素向吸收层的扩散。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：利用直流磁控溅射的方法在铬层上溅射Mo层，钼层的厚度为1～1.5μm。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：Mo层的制备分两步完成，具体包括以下工艺步骤：

(1)在1～1.5Pa的氩气压下沉积一层0.1～0.2μm厚的Mo层。

(2)在0.1～0.2Pa的氩气压下沉积一层0.9～1.2μm厚的Mo层。