[发明专利]同轴宏微复合直线运动平台装置

权利要求书

1.一种同轴宏微复合直线运动平台装置，其特征在于:该装置包括底座（1），气浮导轨（2）安装在底座（1）上，气浮导轨长度方向上表面中间开有长槽，直线电机定子（3）镶在气浮导轨长槽中，气浮导轨（2）侧面装有光栅定尺（4）；宏动平台（6）安装在气浮导轨（2）上，宏动平台（6）的底部形状与气浮导轨（2）表面相互匹配，宏动平台（6）与气浮导轨（2）的接触面上有气孔和气道，高压空气从孔中喷出，在气浮导轨（2）与宏动平台（6）之间形成气膜；宏动平台（6）中还安装直线电机动子（5），直线电机定子（3）与直线电机动子（5）相互作用，驱动宏动平台（6）在气浮导轨（2）上移动；宏动平台（6）上还装有光栅动尺（15），光栅动尺（15）与光栅定尺（4）相互匹配；框架（7）、工字型分布的四个柔性铰链（8）和微动平台（9）由一块整体金属切割而成，其中框架（7）安装在宏动平台（6）上，微动平台（9）的一边与框架（7）的一边之间装有压电陶瓷驱动器或音圈电机（10）；微动平台（9）与宏动平台（6）的移动方向同轴，微动平台（9）的底部设有若干气孔和气道，通过孔中喷出的高压气体，使微动平台（9）与宏动平台（6）接触面之间形成气膜；承物台（11）的下表面连接垫板（13）并一同固定在微动平台（9）上；承物台（11）与框架（7）之间有间隙；承物台（11）与框架（7）之间还装有微动传感器，其中承物台（11）侧面装有第一微动传感器（12），框架（7）侧面装有第二微动传感（14）。

2.根据权利要求1所述的同轴宏微复合直线运动平台装置，其特征在于: 上述每个柔性铰链（8）的支干部宽度较宽，而铰链部宽度较窄，每个支干的两个端部为铰链部位；铰链部位的轮廓为对称的圆弧过度。

3.根据权利要求1所述的同轴宏微复合直线运动平台装置，其特征在于: 上述承物台（11）面积大于微动平台（9）。