[发明专利]一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置

说明书

 

所属技术领域

本发明涉及一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置，使用该冷却方式冷却气体导入喷头的装置。

背景技术

在薄膜沉积设备沉积薄膜中，有利用PECVD(Plasma Enhance  Chemical vapor deposition)处理，在被处理体上进行成膜的过程。进行这种成膜过程设备中具有处理容器 和气体喷头。该处理容器具有用来载置光伏玻璃的载台；该气体喷头则与该载台相对设置，向着光伏玻璃表面供给成膜所需的气体。在该喷头内形成气体流路，可将多种成膜气体均匀地供给光伏玻璃表面，这些气体在混合腔室内互相混合，而且在横方向扩散。另外，喷头是金属板(金属制的扩散板)，同时，会在此金属板上通入射频电源（RF POWER），利用与载台形成的电极空间产生等离子体，达到快速成膜的优点。

　然而，上述供给多种成膜气体用的气体喷头中存在以下的问题。

　在由紧固螺钉固定的金属板长期与等离子体接触会产生高温，此高温会对金属板上的紧固螺钉产生热胀冷缩的物理现象，同时也对金属板上层的紧固的绝缘板产生热变形的现象。长期使用会因此螺钉松动，既使拧紧螺钉 也不能使金属板完全紧密贴合，绝缘板也会因此产生缝隙，导致气体无法完全进入混合腔室中。使等离子向外扩散，会在金属板外侧形成多馀的等离子体，而沈积薄膜于不必要的地方，造成清洁上的不方便，同时对光伏玻璃上沉积的薄膜会产生不均匀的现象。

发明内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置，提供一种在冷却装置将金属板冷却，又不影响气体导入喷头的通路，可防止因等离子的轰击产生的高温影响金属板的固定平面的平整性，同时也防止绝缘板因高温而产生的型变，而产生接触面之间的间隙而使不同成 膜气体混合向外泄漏的技术。

　本发明的一种薄膜沉积设备气体导入喷头金属板冷却装置，它与光伏玻璃的表面相对地设置，同时，在 与上述光伏玻璃相对的表面上设置多个孔，通过这些孔将从气体混合腔室 送出的多种成膜气体同时供给上述光伏玻璃，该气体喷头本身就是一多孔金属板，在混合腔室上设有一冷却腔室，并通入冷却水，使整个金属构件达到冷却的效果。

附图说明

图1系为本发明结构示意图。

主要组件符号说明。

11．．．腔室上盖。

12．．．气体导入口。

13．．．冷却水腔室。

14．．．冷却水进水口。

15．．．气体混合腔室。

16．．．喷头金属板。

17．．．冷却水出水口。

18．．．隔板。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步说明：

请参阅图1所示，一种薄膜沉积设备气体导入喷头冷却装置，其包括腔室上盖11、两个气体导入口12、冷却水腔室13、冷却水进水口14、冷却水出水口17、气体混合腔室15、喷头金属板16及隔板18所组成，成膜气体由气体导入口12通入气体混合腔室15内，由横向扩散后在经由喷头金属板16上的多孔进入处理容器。冷却水则由冷却水进入口14通入冷却水腔室13，再从冷却水出水口17流出，达到冷却循环的目的，同时经由隔板18隔绝冷却水腔室13及气体混合腔室15，不使冷却水流入气体混合腔室内15。当等离子体作用时，冷却水可经由冷却水进水口14流入冷却水腔室13冷却其他金属构件，再经由冷却水出水口17流出，达到降温的目的，使喷头金属板16不会因高温而产生固定螺钉松动的现象。

    以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权利要求范围之内。