[发明专利]一种合金元素成分可控的铂族金属合金涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种在难熔材料表面的合金元素成分可控的铂族金属合金涂层，其特征在于涂层主体元素为铂或铱，合金元素为锆、铪、钽、铝等但不限于这四种合金元素，以及合金元素的氧化物如ZrO₂、HfO₂、Ta₂O₅、Al₂O₃但不限于这四种氧化物增强成分。

2.依据权利要求书1所述的涂层，涂层中的合金元素可以是1种，也可以是2～3种，相应的氧化物可以是1种，也可以是2～3种。

3.一种在难熔材料表面的合金元素成分可控的铂族金属合金涂层的制备方法，其特征在于以铂族金属组合件为靶材，导电的难熔材料为基体材料，基体材料也可称为基体、基材或工件，将靶材和基材置于真空室内，靶材电压范围在800～1200V，基材电压范围在300～600V，使用惰性气体作为工作气氛，接通直流电源，在靶材和基材之间产生辉光放电，通过等离子溅射轰击靶材元素，经沉积和高温扩散在基材表面形成铂族合金涂层，所制合金涂层厚度为1μm～100μm。

4.依据权利要求书3所述的方法，其特征在于靶材均为丝状或条状，将铂族金属丝尤其是铂丝或铱丝，合金元素丝尤其是锆丝或铪丝，嵌在刚玉盘上，如穿透状，丝的一端对着基材，一端接通电源。

5.依据权利要求书3所述的方法，其特征在于刚玉盘也可以是圆桶形，其界面可以是半圆，也可以是椭圆形，工件置于其中，靶丝穿于其上。

6.依据权利要求书3所述的方法，其特征在于合金元素丝按分布设计可接为2-5组电源，每组中的合金丝数量可不同，组与组的合金成分可不同。

7.依据权利要求书3所述的方法，其特征在于涂层沉积过程中，合金元素丝可部分断电，也可调低电压、也可以通过提拉机构从顶端拽出。

8.依据权利要求书3所述的方法，其特征在于沉积过程中也可以给已断电的合金丝再通电，随机调整涂层中合金元素含量。

9.依据权利要求书3所述的方法，其特征在于也可以设计一种程序，合金丝的电压按照程序反复升高、降低，从而改变涂层中合金元素的分布规律。