[发明专利]一种方形基板预对准装置及方法

权利要求书

1.一种方形基板预对准装置，用于对搬运到曝光装置的方形基板进行预对准，特征在于，包括：

工件台，承载上述方形基板

第一探测器，扫描上述方形基板的第一边缘，并计算第一边缘的偏向值；

第二探测器，扫描上述方形基板的第二边缘，第二边缘垂直于第一边缘，并计算第二边的偏向值；以及

控制器，根据第一边的偏向值和第二边的偏向值控制并驱动上述工件台。

2.根据权利要求1所述的方形基板预对准装置，其特征在于，其中第一探测器和第二探测器均包括预对准镜头和背景反射镜，预对准镜头设置在方形基板的上方，背景反射镜设置在方形基板的下方。

3.根据权利要求2所述的方形基板预对准装置，其特征在于，预对准镜头包括线阵CCD、照明光路和成像光路。

4.根据权利要求2所述的方形基板预对准装置，其特征在于，其中，第一探测器和第二探测器的预对准镜头的探测视场是一条直线。

5.一种方形基板预对准方法，其特征在于，包括下列步骤：

(1)工件台Y向运动，用第一探测器扫描方形基板第一边缘，并对扫描得到的第一边缘采样数据进行处理，找出基板第一边缘像素，同时第二边缘运动到第二探测器下方，控制器记录第一边缘采样数据和工件台的第一运动距离，根据上述第一边缘采样数据和工件台的第一运动距离计算第一边缘偏向值；

(2)工件台X向运动，用第二探测器扫描方形基板的第二边缘，并对扫描得到的第二边缘采样数据进行处理，找出基板第二边缘像素，控制器记录第二边缘采样数据和工件台的第二运动距离，根据第二边缘采样数据和工件台的第二运动距离计算第二边缘偏向值；

(3)控制器根据上述第一探测器和第二探测器的位置参数、工件台的运动参数、以及第一边缘采样数据和第二边缘采样数据，计算方形基板拐角坐标，根据基板矩形的长和宽、第一边缘偏向值和第二边缘偏向值计算出偏心值。