[发明专利]一种回收图形化蓝宝石衬底的方法

权利要求书

1.一种回收图形化蓝宝石衬底的方法，其特征在于，所述方法包括：

采用感应耦合等离子体干法刻蚀去除所述图形化蓝宝石衬底上的外延层；

采用湿法腐蚀对去除所述外延层后的所述图形化蓝宝石衬底进行腐蚀。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述感应耦合等离子体干法刻蚀中，反应气体包括氯气和三氯化硼。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述采用感应耦合等离子体干法刻蚀去除所述图形化蓝宝石衬底上的外延层，具体包括：

控制氯气和三氯化硼的混合比在1∶10～5∶6之间，对所述外延层进行干法刻蚀，直至所述外延层的厚度为1～2μm；

增大氯气和三氯化硼的混合比至6∶5～8∶1，继续对所述外延层进行干法刻蚀，直至将所述外延层刻蚀干净。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述湿法腐蚀采用磷酸和硫酸的混合溶液，在20℃～240℃的温度下进行，腐蚀时间为10～30min。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述磷酸和硫酸的体积比为1∶3。