[发明专利]一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法

权利要求书

1.一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括采用化学气相沉积工艺，以氮气作为保护稀释气体，以氨气和气态BCl₃为反应气体，在基体模具上沉积热解氮化硼涂层，其特征在于，于温度1750～1850℃条件下在基体模具上先沉积0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层，并对该预涂层进行保温处理；然后继续升温到1800～2000℃，再在热解氮化硼预涂层上按现有技术反应沉积热解氮化硼材料，形成热解氮化硼坩埚。

2.如权利要求1所述的易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括步骤如下：

(1)将基体模具安装在旋转装置后，置于化学气相沉积反应室中，关闭炉盖，升温抽真空，当温度达到1750～1850℃时，真空度为200～1000Pa条件下，保温10～30min；

(2)然后以氮气作为保护稀释气体，按NH₃∶BCl₃＝(6～11)∶(4～5)体积比将原料氨气和气态BCl₃通入步骤(1)的反应室内，真空度为200～1000Pa，通气时间10～12min，停止通气并保温20～30min，使得基体模具上沉积有0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层；然后，

(3)反应室升温至温度1800～2000℃，在真空度为200～1000Pa条件下，以氮气作为保护稀释气体，继续通入原料气体，NH₃∶BCl₃＝(6～11)∶(4～5)体积比，在热解氮化硼预涂层上沉积形成PBN坩埚；

(4)降温冷却后，将基体模具上的PBN坩埚取下，去除PBN坩埚内壁上的热解氮化硼预涂层，得PBN坩埚制品，坩埚内壁光滑洁净无需再打磨处理。

3.如权利要求1或2所述的易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于基体模具是石墨材料。

4.如权利要求2所述的易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于步骤(2)热解氮化硼预涂层制备时，气态BCl₃和氨气的体积比为NH₃∶BCl₃＝2∶1。

5.如权利要求2所述的易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于步骤(2)热解氮化硼预涂层制备时真空度为200～600Pa。

6.如权利要求2所述的易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于步骤(3)通入原料气体时间为14～30h。

7.如权利要求2所述的易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于步骤(4)采用压缩空气吹扫PBN坩埚内壁，使内壁上的热解氮化硼预涂层脱落。