[发明专利]振动微机械角速度传感器

权利要求书

1.一种振动微机械角速度传感器，其包括：

至少一个测震质量块；和

相关联的活动电极，

其中，所述至少一个测震质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有所述主运动，还具有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴相关的至少一个自由度，

并且所述至少一个质量块借助于弹性结构支撑于所述传感器的框架处，

由所述传感器导致的正交信号通过机械信号被调节至期望的大小。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性结构的一个角被蚀刻掉。

3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，在所述弹性结构中蚀刻有一个或多个补偿槽。

4.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，在所述弹性结构中蚀刻有一个或多个补偿腔。

5.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，在所述弹性结构的至少一个附着点中蚀刻有一个或多个补偿槽或补偿腔。

6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于，通过恰当地设计所述补偿槽或补偿腔的尺寸，以使所述补偿槽或补偿腔有效地校正偏斜的弹性结构的端部。

7.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性结构的一个边缘是锯齿状的。

8.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述弹性结构的两个边缘都是锯齿状的。

9.根据权利要求7所述的角速度传感器，其特征在于，通过将所述锯齿状的尺寸恰当地设计为单侧的或非对称的，使得所述锯齿状将所述弹性结构的弯曲轴扭转。

10.根据前述权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，通过非对称地设计所述弹性结构，使得由所述弹性结构传递的从一种运动模式到另一种运动模式的所述耦合使得由于蚀刻处理的槽相对于所述传感器的盘的法线的倾斜造成的所述不理想性而导致的所述耦合消除或减少。

11.根据权利要求10所述的角速度传感器，其特征在于，所述蚀刻处理是DRIE蚀刻处理。

12.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，由所述传感器导致的所述正交信号也通过电信号被调节至期望的大小。

13.一种借助于微机械盘结构的振动微机械角速度传感器的制造方法，其中，

所述角速度传感器包括至少一个测震质量块和相关联的活动电极，

所述至少一个测震质量块具有必须被激发的主运动，并且不仅具有所述主运动，还具有与基本垂直于所述主运动的一个或多个检测轴有关的至少一个自由度，

并且所述至少一个质量块借助于弹性结构支撑于所述传感器的框架处，

并且由所述传感器导致的正交信号通过机械信号被调节至期望的大小。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，通过设计蚀刻掩模，以使所述蚀刻掩模补偿在所述盘上发生的由所述制造方法而导致的不理想性。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，在所述制造中使用DRIE蚀刻技术。

16.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，在制造中利用了DRIE蚀刻处理的不理想性。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述DRIE蚀刻处理的不理想性是ARDE效应。

18.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，在制造中，通过利用两级DRIE蚀刻处理，要蚀刻的槽或腔的深度可以具有恰当的尺寸。

19.根据权利要求13所述的角速度传感器，其特征在于，通过非对称地设计所述弹性结构，使得由所述弹性结构传递的从一种运动模式到另一种运动模式的所述耦合使得由于蚀刻处理的槽相对于所述传感器的盘的法线的倾斜造成的所述不理想性而导致的所述耦合消除或减少。

20.根据权利要求19所述的角速度传感器，其特征在于，所述蚀刻处理是DRIE蚀刻处理。

21.根据权利要求13所述的角速度传感器，其特征在于，由所述传感器导致的所述正交信号也通过电信号被调节至期望的大小。