[发明专利]一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪

权利要求书

1.一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，所述的光谱仪将二次靶和样品两个平面布置在空间立体光路上，光谱仪的X光管射出原级X射线，所述的原级X射线以45°角入射到二次靶上，从二次靶上以45°出射的原级X射线的散射线是偏振方向垂直于入射平面的全偏振X射线，所述的原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线，且为分立谱线；

---所述的二次靶的散射线按空间立体光路，以45°角入射到样品上，入射线中的散射部分偏振方向平行于此次的入射平面，经过样品平面的再次偏振出射时，在45°全偏振的原级X射线的散射线不会在样品上产生45°角出射的散射线，即偏振消光；原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线，且为分立谱线；入射线中的靶材特征谱被样品散射后是全偏振，样品被激发的特征X射线为圆偏振的线光谱；

---所述的样品被激发的特征X射线由探测器接收并分析，所述的探测器在45°角只接收到样品中的元素被激发的特征X射线及二次靶特征X射线的散射线。

2.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的原级X射线为X光管出射的连续的轫致福射及分立的靶材特征线，是各向同性的圆偏振X射线。

3.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的二次靶的散射线按空间立体光路，以45°角入射到样品上，入射线中的散射部分偏振方向平行于此次的入射平面，即散射部分在出射时不会再出现的包括连续谱和靶材特征谱。

4.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的靶材特征谱被样品散射后包括康普顿散射和瑞利散射，是全偏振的分立谱。

5.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的二次靶采用巴克拉靶，所述的巴克拉靶用二次靶的散射线来激发样品。

6.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的二次靶采用荧光二次靶，所述的荧光二次靶采用二次靶出射的荧光谱线激发样品。

7.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的原级X射线包括连续谱和靶材料的分立特征X射线。

8.根据权利要求1所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：在二次靶的出射光路上加有滤光片，所述的滤光片将二次靶出射的荧光谱线过滤到只剩一条强谱线，其他的强谱线被滤光片吸收到很低。

9.根据权利要求8所述的偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪，其特征在于：所述的滤光片的材料和厚度是经过计算，使二次靶出射的多条特征荧光X射线变成准单色X射线。