[发明专利]具有集成式电极工具的五轴电流变抛光设备

权利要求书

1.一种具有集成式电极工具的五轴电流变抛光设备，其特征在于：是由设备支座(101)，Z轴运动单元(102)，X轴运动单元(103)，Y轴运动单元(104)、回转工作台(105)、回转工作台(106)和集成式电极工具(107)组成，Z轴运动单元(102)设置在设备支座(101)上，回转工作台(106)设置在Z轴运动单元(102)的Z轴工作台(205)上，集成式电极工具(107)设置在回转工作台(106)上，回转工作台(105)设置在X轴运动单元(103)的X轴工作台(303)上；

所述的Z轴运动单元(102)主要由交流伺服电机(201)，直线导轨(202)，滚珠丝杠(203)，光栅尺(204)和Z轴工作台(205)组成，回转工作台(106)安装在Z轴工作台(205)上，交流伺服电机(201)与精密滚珠丝杠(203)通过联轴器相连，滚珠丝杠(203)与Z轴工作台(205)连接，Z轴工作台(205)与直线导轨(202)组成移动副，光栅尺(204)设置在支座(101)的正面；

所述的X轴运动单元(103)是由交流伺服电机(301)、直线导轨(302)、X轴工作台(303)、滚珠丝杠(304)、光栅尺(305)和座(306)组成，回转工作台(105)安装在X轴工作台(303)上，交流伺服电机(301)与滚珠丝杠(304)通过联轴器相连，滚珠丝杠(304)与X轴工作台(303)连接，X轴工作台(303)与直线导轨(302)组成移动副，直线导轨(302)设置在座(306)上，光栅尺(305)设置在座(306)上；

所述的Y轴运动单元(104)是由交流伺服电机(401)、Y轴工作台(402)、滚珠丝杠(403)、直线导轨(404)、光栅尺(405)和座(406)组成，交流伺服电机(401)与滚珠丝杠(403)通过联轴器相连，滚珠丝杠(403)与Y轴工作台(402)连接，Y轴工作台(402)与直线导轨(404)组成移动副；直线导轨(404)和光栅尺(405)设置在座(406)上，Y轴工作台(402)与X轴运动单元(103)的座(306)相连。

2.如权利要求1所述的一种集成式电极工具，其特征在于：是由工具夹具(711)、电机(712)、导电铜环(713)和集成电极(714)组成，电机(712)输出轴直接与集成电极(714)相连，两个导电铜环(713)分别嵌入工具夹具(711)的两环形槽中，在集成电极(714)的方形槽中各嵌有一金属电极，通过碳刷分别与两导电铜环(713)相连，当集成电极(714)进行旋转运动时，碳刷始终与导电铜环(713)内侧保持接触。

3.如权利要求1所述的一种集成式电极工具，其特征在于：是由工具夹具(721)、电机(722)、导电铜环(723)和集成电极(724)组成，电机(722)输出轴直接与集成电极(724)相连，两个导电铜环(723)分别嵌入工具夹具(721)的两环形槽中，集成电极(724)的环形金属电极与下端导电铜环直接接触，集成电极(724)的针状金属电极通过碳刷与上端导电铜环内侧相连。集成电极(724)进行旋转运动时，碳刷始终与导电铜环(723)内侧保持接触。