[发明专利]抗软化氮化硅梯度掺杂石英坩埚制备方法

权利要求书

1.一种抗软化氮化硅梯度掺杂石英坩埚制备方法，其特征在于：以石英为主原料，在其内侧进行氮化硅掺杂，其中靠近坩埚内部为氮化硅层，外部为石英层,中间是石英/氮化硅过渡层，在氮化硅掺杂过程中将石英粉和氮化硅粉分层布料，在制作石英坩埚的装料过程中，将石英粉和氮化硅粉按定量配比进行分层布料，通过调整石英粉和氮化硅粉的含量呈梯度分布，既使氮化硅含量由内至外逐渐降低，具体的制备方法如下，

配料：将氮化硅粉与石英粉按氮化硅粉 + 石英粉进行掺杂；

梯度布料：先将石英粉撒布在电弧炉内衬旋转的石墨基体上作为底料，然后分别将配好的氮化硅粉 + 石英粉的混合料依次均匀散布在石英粉底料上，最后在料层的最内侧布一层氮化硅粉；

电弧炉熔炼：布料结束后，送入电弧炉进行熔炼；使熔炼室温度达到2000℃以上，使物料充分熔化，逐渐降低电压电流直至弧光熄灭后停止供电，坩埚随炉冷却10钟将其取出；

倒棱和抛光：待坩埚充分冷却后，先在切边机上切掉顶部多余部分，接着对坩埚进行倒棱和抛光；

超声波清洗：用高纯水超声波清洗冷却后的坩埚表面污渍；

高压清洗：再用高压清洗机对坩埚彻底清洗；

成品检验：烘干后经过检验合格成为成品。

2.根据权利要求1所述的一种抗软化氮化硅梯度掺杂石英坩埚制备方法，其特征在于：石英粉+氮化硅粉梯度层的厚度为0.1-5mm。

3.根据权利要求1所述的一种抗软化氮化硅梯度掺杂石英坩埚制备方法，其特征在于：配料比为  氮化硅 粉 ：（石英粉 + 氮化硅粉）= x ：100，其中x 取值范围为0-100。