[发明专利]分子泵钣金定片

说明书

技术领域

本发明涉及一种分子泵的定片，尤其涉及一种分子泵钣金定片。

背景技术

涡轮分子泵通过动片-定片组来实现抽气的功能。

现有技术中，分子泵的定片采用铝合金材料，先通过车床车成圆板状毛坯，再通过分度头控制角度，调整铣床的角度，使用特殊铣刀工装，通过铣床铣制叶片。因为分子泵定片每组数量多且薄，整套工艺中为避免铝合金材料应力释放造成叶片变形，需经多道热处理去应力，使用特制的夹爪，以及多道车铣工序来保证叶片的应力变形在允许的范围内。之后铣好的定片还需经去毛刺，阳极氧化，标号，割断、配打销孔的诸多工序，才能最终完成。

如图1所示，是现有技术中一对铣制加工的定片组。

上述现有技术至少存在以下缺点：

铣制的定片工艺在铣各个叶片上极其消耗时间，同时增加了废品率。工艺复杂、工时长、废品率高使得叶片成品的价格居高不下，且定片尺寸越大，加工难度越高。因此造成定片的产能十分有限。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、容易制作的分子泵钣金定片。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的分子泵钣金定片，包括圆环状支撑框架，所述圆环状支撑框架上设有多个叶片，所述圆环状支撑框架与所述叶片为整体钣金冲压结构。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明提供的分子泵钣金定片，由于该定片为整体钣金冲压结构，结构简单，可以采用冲压模具生产定片，制造工艺简单、成本低、生产效率高。

附图说明

图1是现有技术中一对铣制加工的定片组的结构示意图；

图2为本发明的具体实施例的扭转式钣金定片的结构示意图；

图3为具体实施例的斜口式钣金定片的结构示意图；

图4为本发明的具体实施例的冲压模具的结构示意图；

图5a、5b、5c、5d为本发明中的定片上的加强筋的几个具体实施例的结构示意图；

图6a、6b、6c为本发明中的定片上的搭接扣的几个具体实施例的结构示意图。

图中：1、支撑框架，2、叶片。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。

本发明的分子泵钣金定片，其较佳的具体实施方式是：

包括圆环状支撑框架，所述圆环状支撑框架上设有多个叶片，所述圆环状支撑框架与所述叶片为整体钣金冲压结构。

该定片可以为不锈钢钣金冲压件，也可以选用其它的易冲压的材料。

所述叶片可以为扭转式结构，也可以为斜口式结构。

所述圆环状支撑框架上可以设有加强筋。

所述加强筋可以为三角型加强筋、圆形加强筋、圆角槽型加强筋和/或方形加强筋等。

所述圆环状支撑框架可以为两个半圆环拼装的结构，两个半圆环之间的对接处设有搭接扣。以确保安装时与转子配对时的位置和强度。

本发明中的定片为钣金冲压件，具体实施例中，定片可以用优质不锈钢板经冲压制成，结构简单，可以采用冲压模具生产定片，大大简化了制造工艺、降低成本、提高生产效率。

如图2所示，为具体实施例的扭转式钣金定片；如图3所示，为具体实施例的斜口式钣金定片。具体可以根据定片的大小、叶片倾角和数量的具体情况，选择扭转式钣金定片和斜口式钣金定片。其中扭转式拥有更佳的性能，斜口式拥有更佳的强度。

如图4所示，是一个具体实施例的冲压模具的结构示意图，通过上下两个冲模，一次或多次完成叶片的冲裁和扭转变形。

如图5a、5b、5c、5d所示，具体实施例中为保证定片强度，在直径较大的定片上可以增加加强筋，比如：三角型加强筋、圆形加强筋、圆角槽型加强筋和方形加强筋等。

如图6a、6b、6c所示，为保证定片安装位置准确，定片组两部分之间可以设计有各种搭接扣。

本发明的具体实施例的优点在于，定片采用不锈钢钣金制成，生产效率比一般铣制片有显著提高、加工难度显著降低、可大幅降低生产制造成本。同时，不锈钢比铝合金有更好的真空特性，在真空条件下放气小，有助于提高产品的性能。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。