[发明专利]一种光场相位分布检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种光场相位分布检测系统，包括光纤分束器、光电探测器、扫描驱动模块和扫描部件，其特征在于：所述光纤分束器的输入端至少为两个，每个光纤分束器输入端的前端分别设置为圆锥形状，构成光纤探针；所有的光纤探针并排靠紧并固定，所有光纤探针的光纤传到部分相互固定，制成相位检测探针；相位检测探针和光纤分束器的近场光耦合部分均固定在同一个扫描部件中，光纤分束器的光信号输出端位于扫描部件外；扫描驱动模块与扫描部件相连接，光纤分束器的光信号输出端与光电探测器相连接。

2.根据权利要求1所述的一种光场相位分布检测系统，其特征在于：所述的光纤分束器为单模光纤分束器、多模光纤分束器、单模-多模混合型光纤分束器的一种。

3.根据权利要求1所述的一种光场相位分布检测系统，其特征在于：所述的光纤分束器其输入端数量大于或等于贰，其输出端数量大于或等于壹。

4.根据权利要求1所述的一种光场相位分布检测系统，其特征在于：所述的扫描驱动模块为压电陶瓷纳米移动平台。

5.根据权利要求1所述的一种光场相位分布检测系统，其特征在于：所述的光电探测器为单传感面的光电二极管、雪崩管、光电倍增管的一种。

6.根据权利要求1所述的一种光场相位分布检测系统的检测方法，其特征在于：运用光纤分束器的近场光耦合相干技术和并列光纤探针扫描技术，通过光电探测器检测光纤分束器输出端的光强信号，分析聚焦光束的波前相位分布，得到被测光场的相位信息，实现光场相位分布的测量。