[发明专利]惠斯登电桥交流LED器件及其制造方法无效
申请号: | 201210062656.7 | 申请日: | 2012-03-09 |
公开(公告)号: | CN102610626A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 肖德元;张汝京;宋天泰 | 申请(专利权)人: | 映瑞光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 201306 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 惠斯登 电桥 交流 led 器件 及其 制造 方法 | ||
1.一种惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,包括如下步骤:
提供具有串联的LED的衬底;
对所述衬底进行切割,得到多个第一LED模块和第二LED模块,其中,每个第一LED模块和每个第二LED模块至少包括两个LED,所述第一LED模块和第二LED模块的数量比小于等于4∶1,所述第二LED模块的面积大于所述第一LED模块的面积;
将所述第一LED模块作为桥臂和所述第二LED模块作为中间臂封装成惠斯登电桥交流LED器件。
2.根据权利要求1所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于,还包括:对所述衬底进行切割之前,对所述串联的LED进行测试,并根据测试结果选择性的对所述串联的LED的衬底进行激光划片。
3.根据权利要求1所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于,通过如下工艺步骤形成具有串联的LED的衬底:
提供一衬底,在所述衬底上由下至上依次形成N型限制层、外延层和P型接触电极层;
制作至少九个贯穿P型接触电极层、外延层、N型限制层的隔离沟槽,以在衬底上方隔离出至少十个区域,每个区域对应一个LED;
在每个所述区域内制作一个与隔离沟槽相连通的N型接触电极台阶,所述N型接触电极台阶贯穿P型接触电极层、外延层;
在P型接触电极层、N型接触电极台阶的表面及隔离沟槽的内表面沉积隔离介质层;
通过光刻、刻蚀工艺去除与每个隔离沟槽紧邻的部分隔离介质层,分别暴露出部分P型接触电极层和部分N型限制层,在所暴露出的部分P型接触电极层、部分N型限制层和隔离沟槽内及隔离沟槽表面上沉积金属,一次制作出N电极、P电极和用于连接相邻LED的电极的互联金属层,形成具有串联LED的衬底。
4.根据权利要求3所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:形成具有串联的LED的衬底的工艺步骤后,还包括:减薄所述衬底。
5.根据权利要求3所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:在所述衬底上形成N型限制层之前,还包括:在所述衬底上形成氮化物缓冲层。
6.根据权利要求3所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:所述外延层包括多量子阱有源层和形成于多量子阱有源层上的P型限制层。
7.根据权利要求6所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:在所述N型限制层上形成所述外延层的步骤中,在形成P型限制层之前,还包括:沉积P型氮化物层。
8.根据权利要求3所述的惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:所述N型接触电极台贯穿P型接触电极层、外延层并延伸到部分N型限制层中。
9.根据权利要求3所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:所述N电极、P电极和互联金属层所使用的导电材料相同。
10.根据权利要求9所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:所述N电极、P电极和互联金属层的材料为镍金合金,或铬金合金。
11.根据权利要求1至10中任一项所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:采用板上晶片直装对所述第一LED模块和第二LED模块进行封装。
12.根据权利要求11中所述惠斯登电桥交流LED器件的制造方法,其特征在于:形成惠斯登电桥交流LED器件之后,还包括:在所述惠斯登电桥交流LED器件上涂覆荧光粉硅胶。
13.一种根据权利要求1至12中任一项所述的惠斯登电桥交流LED器件的制造方法制得的惠斯登电桥交流LED器件,其特征在于,包括:
四个第一LED模块和一个第二LED模块,所述第一LED模块作为桥臂,所述第二LED模块作为中间臂,每个第一LED模块和每个第二LED模块分别包括至少两个LED,其中,所述第二LED模块的面积大于所述第一LED模块的面积。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的