[发明专利]脆性材料基板的内周加工方法

权利要求书

1.一种脆性材料基板的内周加工方法，其特征在于其包括以下步骤：

(a)使用在划线轮的刃口棱线周期性的形成有相对划线轮的轴心方向倾斜的槽的划线轮，在脆性材料基板的第1面上形成作为内周的内侧轮廓线的划线的划线步骤；

(b)以为了与该内侧轮廓线内侧的中心区域非接触而设有孔的板支承该基板，并对该中心区域赋予压力的增压步骤；以及

(c)在增压的状态下，冷却该中心区域使其收缩以分离该中心区域的中心切除步骤。

2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的内周加工方法，其特征在于其中所述的内侧轮廓线是直径15mm以下的圆形。

3.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的内周加工方法，其特征在于其中在所述的(b)的增压步骤中，以设置于该板的加热机构加热该内侧轮廓线的外侧区域。

4.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的内周加工方法，其特征在于其中在所述的(b)的增压步骤中，对该中心区域的增压是藉由将形成有冷却媒体的流入路的金属构件按压于该中心区域以赋予压力；

在该(c)的中心切除步骤中，该中心区域的冷却是藉由对该金属构件的该冷却媒体的流入路导入冷却媒体来进行。

5.根据权利要求3所述的脆性材料基板的内周加工方法，其特征在于其中在所述的(b)的增压步骤中，对该中心区域的增压是藉由将形成有冷却媒体的流入路的金属构件按压于该中心区域以赋予压力；

在该(c)的中心切除步骤中，该中心区域的冷却是藉由对该金属构件的该冷却媒体的流入路导入冷却媒体来进行。