[发明专利]运动台定位精度的测量系统及测量方法

权利要求书

1.一种运动台定位精度的测量系统，其特征在于，包括：

运动台控制系统，用于驱动运动台沿X方向或Y方向按照一设定路线步进或扫描，所述X方向和Y方向为在水平面上相互正交的两个方向；

第一位置测量系统，用于实时测量运动台在X方向和Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统，从而由运动台控制系统根据第一位置测量系统实时反馈的所述当前位置驱动运动台步进或扫描至一设定位置；

第二位置测量系统，用于当运动台控制系统驱动运动台每次经过所述设定位置时，分别测量运动台位于所述设定位置时在X方向和Y方向的实际位置，计算每次实际位置之间的偏差并与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。

2.如权利要求1所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于实时测量运动台在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统；所述Y方向位置测量系统用于实时测量运动台在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统。

3.如权利要求1所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

4.如权利要求1所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述设定路线为沿X方向或Y方向步进，或者为沿X方向和Y方向交替步进。

5.一种利用如权利要求1所述的测量系统进行运动台定位精度测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，运动台控制系统驱动运动台按照一设定路线步进，所述设定路线上分布有一组设定位置；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进，第二位置测量系统测量运动台的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第一组实际位置；

步骤2，运动台控制系统驱动运动台按照所述设定路线再次步进；当第一位置测量系统测量到运动台步进至所述一组设定位置中的各设定位置时，运动台控制系统控制运动台停止步进，第二位置测量系统测量运动台的实际位置，从而得到对应于所述一组设定位置的运动台的第二组实际位置；

步骤3，统计运动台的第一组实际位置和第二组实际位置之间的偏差，得到一组运动台的实际位置偏差，并将所述一组偏差与运动台精度指标比较，从而判断运动台定位精度是否达标。

6.如权利要求5所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第一位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于实时测量运动台在X方向的当前位置并反馈至运动台控制系统；所述Y方向位置测量系统用于实时测量运动台在Y方向的当前位置并反馈至运动台控制系统。

7.如权利要求5所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述第二位置测量系统包括X方向位置测量系统和Y方向位置测量系统，所述X方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在X方向的实际位置；所述Y方向位置测量系统用于测量运动台位于所述设定位置时在Y方向的实际位置。

8.如权利要求5所述的运动台定位精度的测量系统，其特征在于，所述设定路线为沿X方向或Y方向步进，或者为沿X方向和Y方向交替步进。