[发明专利]一种激光切割玻璃的方法无效
申请号: | 201210063347.1 | 申请日: | 2012-03-12 |
公开(公告)号: | CN102583991A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 蔡志祥;韩伟;侯若洪 | 申请(专利权)人: | 深圳光韵达光电科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/09 | 分类号: | C03B33/09 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 切割 玻璃 方法 | ||
1.一种激光切割玻璃的方法,其特征在于:包括以下步骤:1)将波长范围为1064nm~1075nm,模式为基模模式的激光束经聚焦处理后垂直入射到待切割的玻璃样品的上表面,使所述激光束的焦点位于所述玻璃样品的上表面;所述激光束的平均功率满足:聚焦后激光束的功率密度大于所述玻璃样品的破坏阈值;2)按预先设定的扫描路径移动所述激光束,从而使所述玻璃样品的上表面烧蚀出一条深度为所述玻璃样品厚度的1/16~1/3的凹槽,同时所述激光束的部分能量沿着所述凹槽透射至所述玻璃样品的整个厚度方向,使所述玻璃样品沿着所述凹槽底端的平面开裂开来。
2.根据权利要求1所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述步骤1)中激光束是由中心波长在1064nm~1075nm范围的固体激光器产生的。
3.根据权利要求2所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述固体激光器是光纤激光器或Nd:YAG激光器。
4.根据权利要求1所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述待切割的玻璃样品厚度越厚,所述步骤1)中激光束的平均功率越高。
5.根据权利要求4所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述待切割的玻璃样品的厚度为0.1mm~1.1mm,所述步骤1)中所述激光束的平均功率为10W~37W。
6.根据权利要求1所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述步骤1)中所述激光束经过所述聚焦镜后完成聚集处理。
7.根据权利要求6所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述激光束先经过扩束准直镜扩束后再通过45度反射镜反射至所述聚焦镜,最后经所述聚焦镜完成聚焦处理。
8.根据权利要求6所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述激光束先经过扩束准直镜扩束后至所述聚焦镜,经所述聚焦镜完成聚焦处理。
9.根据权利要求5-7任一所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述聚焦镜的数值孔径为0.28~0.5。
10.根据权利要求1-8任一所述的激光切割玻璃的方法,其特征在于:所述玻璃的材质为硼硅酸盐玻璃或纳钙玻璃。
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