[发明专利]一种多功能集成的有机阻变存储装置及其制备方法有效
申请号: | 201210064637.8 | 申请日: | 2012-03-13 |
公开(公告)号: | CN102593359A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 李福山;郭太良;叶芸;周雄图;胡海龙;吴朝兴;谢剑星;寇丽杰 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;G11C13/00 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350001 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多功能 集成 有机 存储 装置 及其 制备 方法 | ||
1.一种多功能集成的有机阻变存储装置,包括绝缘基板,设置于绝缘基板上的底电极、顶电极及设置于所述底电极和顶电极之间的有机功能层,其特征在于:所述的有机功能层为基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜;
所述的基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜的厚度为10-100纳米;
所述的底电极是P型硅或N型硅材料;
所述的顶电极是Ag、Al、Cr中的一种金属电极或者两种及两种以上组合的复合金属电极。
2.根据权利要求1所述的多功能集成的有机阻变存储装置,其特征在于:所述的基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜内部形成大量的有机/无机界面;
所述的基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜内部金属离子以络合物的形式出现;
所述的基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜内部金属离子是铜离子、锌离子、锡离子或其组合。
3.根据权利要求1所述的多功能集成的有机阻变存储装置,其特征在于:所述的有机阻变存储装置集合了多值存储和写一次读多次的功能。
4.根据权利要求3所述的多功能集成的有机阻变存储装置,其特征在于:所述的有机阻变存储装置在-3伏至5伏的电压范围内表现出非易失性可擦写的多值存储功能。
5.根据权利要求3所述的多功能集成的有机阻变存储装置,其特征在于:所述的有机阻变存储装置在-3伏至-5伏的电压范围内表现出写一次读多次的非易失性存储功能。
6.一种如权利要求1所述的多功能集成的有机阻变存储装置的制备方法,其特征在于:所述的制备方法包括以下步骤:
(1)在绝缘基板表面形成底电极;
(2)在底电极表面形成基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜;
(3)在基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜上形成顶电极。
7.根据权利要求6所述的多功能集成的有机阻变存储装置的制备方法,其特征在于:步骤(1)所述的绝缘基板是二氧化硅、玻璃、石英、陶瓷或绝缘柔性衬底材料。
8.根据权利要求6所述的多功能集成的有机阻变存储装置的制备方法,其特征在于:步骤(2)所述的基于聚酰亚胺的有机/无机纳米复合薄膜的制备方法为:将聚酰胺酸/金属离子溶液通过旋涂或滚涂的方式在底电极表面形成聚酰胺酸/纳米颗粒/金属离子复合薄膜,经300-400℃热处理1-2小时形成聚酰亚胺/纳米颗粒/金属离子复合薄膜。
9.根据根据权利要求8所述的多功能集成的有机阻变存储装置的制备方法,其特征在于:所述的纳米颗粒是氯化铜纳米颗粒、氧化锌纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒、氧化铜纳米颗粒中的一种或多种的混合物。
10.根据权利要求8所述的多功能集成的有机阻变存储装置的制备方法,其特征在于:聚酰胺酸/金属离子溶液的制备方法为,将含有金属离子的化合物晶体加入溶解有聚酰胺酸的有机溶剂,所述的有机溶剂是二甲基甲酰胺或N-甲基吡咯烷酮,经超声分散形成均匀的分散体系;聚酰胺酸溶液中所述的金属离子的质量分数为0.1-10%。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择