[发明专利]一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法无效
| 申请号： | 201210066516.7 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102637340A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 赵敏;尹彬锋;李瀚超 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G08B21/00 | 分类号： | G08B21/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 预防 cascade 探针 显微镜 撞针 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，在Cascade探针台靠近探针的横梁上设置传感器，以在显微镜镜筒过度靠近时发出警告。
2.根据权利要求1所述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，一警告装置与所述传感器通讯连接。
3.根据权利要求1或2所述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，所述警告装置通过发出声音或信号灯进行警告。
4.根据权利要求3所述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，所述传感器为距离传感器。
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