[发明专利]一种主动测试电压对比度失效定位的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试方法，尤其涉及一种主动测试电压对比度失效定位方法。

背景技术

目前，对被动电压对比定位（passive voltabe contrast，简称PVC）的测试方法已经广泛的应用在半导体的分析故障中，在电压对比定位方法中通常是使用扫描电子显微镜(scanning electron microscopy,简称SEM)对样品电压对比进行测试的，在测试的过程中是通过聚焦离子束（focused ion beam，简称FIB）轰击样品表面，并观察聚焦离子束反射的形态图像亮度来确定样品中电压对比是否有故障的。

如图1所示，在测试锁链式样品中间连线发生断裂的时候，聚焦离子束轰击在样品表面具有不同的形态，具体的为当聚焦离子束轰击在样品具有连接线断裂部分的上表面时，聚焦离子束的反射呈弯曲状为不发光；当聚焦离子束轰击在样品具有连接线未断裂部分的上表面时，聚焦离子束的反射呈直线为发光，以此来判定并分析样品中的故障存在于哪一点。

但是PVC仍然有局限性，如图2所示，在测试并联锁链式样品时，由于基体金属泄漏电流的缘故，聚焦离子束轰击在样品上反射的射线始终呈直线并发光，由此无法测试分析出样品在泄漏电源时中间的断裂处。在扫描电子显微镜和纳米探针系统的配合的使用下可以克服这一缺陷能够测试，但是纳米探针系统是一个高成本的解决方法，并且对于操作者需要一定经验。

发明内容

发明公开了一种主动测试电压对比度失效定位方法。用以解决现有技术中，在对并联锁链式样品测试时使用纳米探针系统的高成本以及操作复杂的问题。

为实现上述目的，发明采用的技术方案是：

一种主动测试电压对比度失效定位方法，其中，包括以下工艺步骤：

步骤一，将所要测试的样品通过导电双面胶带黏贴在支撑盘上；

步骤二，在支撑盘上黏贴单面隔离胶带，并使单面隔离胶带的两端接近被测样品；

步骤三，在单面隔离胶带上设有多个电池，并在每两个电池之间设有垫片连接，之后在首端电池的顶面设有一单面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上，在末端电池的底面设有一双面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上； 

步骤四，利用引线将单面隔离胶带上的单面导电胶带与双面导电胶带远离电池的一端与被测样品的压点连接； 

步骤五，对被测样品进行测试。

上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述电池为纽扣电池。

上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述引线为金、铝或铜导线。

上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述单面导电胶带与双面导电胶带的材料为铝材料。

上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述单面导电胶带与双面导电胶带的材料为铜材料。

上述的主动测试电压对比度失效定位方法，其中，所述电池、单面导电胶带、双面导电胶带、引线与被测样品串联连接。

本发明中一种主动测试电压对比度失效定位方法，采用了如上方案具有以下效果：

1、能够有效地使操作检测方式变得简易，不需要操作者对其有很丰富的操作经验，使用操作成本低廉；

2、同时能够灵活性的对测试样品进行测试。

附图说明

通过阅读参照如下附图对非限制性实施例所作的详细描述，发明的其它特征，目的和优点将会变得更明显。

图1为常规情况下聚焦离子束轰击在样品表面具有不同的形态示意图；

图2为测试并联锁链式样品的情况下聚焦离子束轰击在样品表面具有相同形态的示意图；

图3为一种主动测试电压对比度失效定位方法的实施示意图；

参考图序：样品1、支撑盘2、导电双面胶带3、单面隔离胶带4、单面导电胶带5、双面导电胶带6、垫片7、引线8、压点9、电池10。

具体实施方式

为了使发明实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，下结合具体图示，进一步阐述本发明。

如图3所示，一种主动测试电压对比度失效定位方法，其中，包括以下工艺步骤：

步骤一，将所要测试的样品1通过导电双面胶带3黏贴在支撑盘2上，进一步的该支撑盘2为扫描电子显微镜内的支撑盘2；

步骤二，在支撑盘2上黏贴单面隔离胶带4，并使单面隔离胶带4的两端接近被测样品；