[发明专利]压力传感器用膜片和压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器用膜片，该压力传感器用膜片呈同心圆状一体地具有中央部和周缘部，该中央部的外表面受到外部压力而变形，内表面形成向外壳内部的感压元件传递力的膜片主体，该周缘部在所述中央部的外侧，与形成在外壳上的压力输入口的外周熔接，所述压力传感器用膜片封闭所述压力输入口，其特征在于，

在所述中央部和所述周缘部之间形成有阶梯壁。

2.根据权利要求1所述的压力传感器用膜片，其特征在于，

在形成所述膜片主体的中央部，以与所述阶梯壁为同心圆状的方式形成有壁。

3.根据权利要求1或2所述的压力传感器用膜片，其特征在于，

在所述阶梯壁的内周面嵌入具有模仿所述阶梯壁的内周的形状的外形的环，能够约束所述阶梯壁的变形。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的压力传感器用膜片，其特征在于，

所述膜片由与所述外壳相同的材料形成。

5.一种压力传感器用膜片，其特征在于，

该压力传感器用膜片在圆盘状的膜片主体、圆筒部、熔接部和周缘部之间形成有阶梯，该膜片主体受到外部压力而挠曲变形，该圆筒部一体地设于该膜片主体的周缘，且能够嵌入到传感器外壳的压力输入口的内壁面中，该熔接部与设于该圆筒部的端缘的所述传感器外壳熔接，该周缘部成为所述膜片主体的挠曲基点。

6.根据权利要求5所述的压力传感器用膜片，其特征在于，

在所述圆筒部端缘形成凸缘而成为帽形膜片，将所述凸缘部作为与所述外壳熔接的熔接部。

7.根据权利要求5所述的压力传感器用膜片，其特征在于，

将与所述压力输入口的开口缘部相接的所述圆筒部端缘作为与所述传感器外壳熔接的熔接部。

8.一种压力传感器，其特征在于，

以使权利要求1～7中的任一项所述的压力传感器用膜片覆盖所述压力输入口的外周的方式，将所述膜片的周缘部熔接。

9.根据权利要求8所述的压力传感器，其特征在于，

在所述周缘部的附近形成有隔热槽。

10.根据权利要求8所述的压力传感器，其特征在于，

在所述压力输入口的内壁上形成有锪孔，所述中央部和所述缓冲部与所述锪孔相接。

11.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳，其具有压力输入口；

外表面为受压面的膜片，其封闭该外壳的所述压力输入口；

力传递单元，其在所述外壳内部与所述膜片的中央区域连接，与该膜片连动地在与该膜片的受压面垂直的方向上运动；以及

感压部，其与该力传递单元和所述外壳连接，沿着与所述膜片的受压面垂直的轴设定检测轴，

所述膜片在圆盘状的膜片主体、圆筒部、熔接部和周缘部之间形成有阶梯，该膜片主体受到外部压力而挠曲变形，该圆筒部一体地设于该膜片主体的周缘，且能够嵌入到传感器外壳的压力输入口的内壁面中，该熔接部与设于该圆筒部的端缘的所述传感器外壳熔接，该周缘部成为所述膜片主体的挠曲基点。

12.根据权利要求10所述的压力传感器，其特征在于，

将与所述压力输入口的开口缘部相接的所述圆筒部端缘作为与所述传感器外壳熔接的熔接部。

13.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳；

一对压力输入口，其同轴地设置在该外壳的对置的端面板上；

外表面为受压面的第1、第2膜片，其封闭所述压力输入口；

力传递单元，其在所述外壳内部连接所述膜片的内表面的中央区域彼此；以及

感压元件，其一端与该力传递单元的中途连接，另一端与所述外壳连接，并且，与垂直于所述膜片的受压面的轴平行地排列检测轴，

所述膜片在圆盘状的膜片主体、圆筒部、熔接部和周缘部之间形成有阶梯，该膜片主体受到外部压力而挠曲变形，该圆筒部一体地设于该膜片主体的周缘，且能够嵌入到传感器外壳的压力输入口的内壁面中，该熔接部与设于该圆筒部的端缘的所述传感器外壳熔接，该周缘部成为所述膜片主体的挠曲基点，

将与所述压力输入口的开口缘部相接的所述圆筒部端缘作为与所述传感器外壳熔接的熔接部。

14.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：

外壳；

压力输入口，其设置在该外壳的端面板上；

外表面为受压面的膜片，其封闭所述压力输入口；

力传递单元，其在所述外壳内部，在所述膜片的内表面的中央区域配置在与该膜片的受压面垂直的轴线上，且与对置的外壳端面板连接；以及

感压元件，其一端与该力传递单元的中途连接，另一端与所述外壳连接，并且，与垂直于所述膜片的受压面的轴同轴地设定检测轴，

所述膜片在圆盘状的膜片主体、圆筒部、熔接部和周缘部之间形成有阶梯，该膜片主体受到外部压力而挠曲变形，该圆筒部一体地设于该膜片主体的周缘，且能够嵌入到传感器外壳的压力输入口的内壁面中，该熔接部与设于该圆筒部的端缘的所述传感器外壳熔接，该周缘部成为所述膜片主体的挠曲基点，

将与所述压力输入口的开口缘部相接的所述圆筒部端缘作为与所述传感器外壳熔接的熔接部。