[发明专利]旋转阴极机构无效
| 申请号： | 201210067554.4 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102560386A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 朱殿荣;曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 214253 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 阴极 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转阴极机构，其特征是它包括靶旋转机构（4）、靶支架（3）、冷却水管（8）和依次安装在冷却水管（8）外侧的极靴（7）、多个条形磁铁（6）、靶材（5），上述套管的一侧装有一端盖（9），另一端安装靶旋转机构（4）和靶支架（3），所述的条形磁铁（6）和靶材（5）之间套装不锈钢管。
2.根据权利要求1所述的旋转阴极机构，其特征是所述的极靴（7）的外侧设有多个定位槽，相应的多个条形磁铁（6）分别安装在极靴（7）的定位槽内。
3.根据权利要求2所述的旋转阴极机构，其特征是所述的条形磁铁（6）的组合方式是每路条形磁铁的朝向相同，按S-N-S-N排布在不锈钢管内。
4.根据权利要求2所述的旋转阴极机构，其特征是所述的条形磁铁（6）为四个，均匀分布在极靴（7）外壁的定位槽内。
5.根据权利要求1所述的旋转阴极机构，其特征是所述的冷却水管（8）的一端为冷却水进口（1），另一端为冷却水出口（2）。
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