[发明专利]真空镀膜用布气系统无效
申请号: | 201210067836.4 | 申请日: | 2012-03-14 |
公开(公告)号: | CN102586739A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 朱殿荣;曹俊 | 申请(专利权)人: | 无锡康力电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C16/455 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 214253 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 用布气 系统 | ||
技术领域
本发明涉及真空镀膜领域,尤其是一种真空室的布气系统,具体地说是一种能均匀布气的真空镀膜用布气系统。
背景技术
在真空镀膜行业中,考证产品质量的一个重要指标是镀膜均匀性,影响其主要的因素是电场、磁场以及真空室的布气系统,如图1所示,传统的布气管道是以6mm的不锈钢管按一定间隔钻孔,然后平行于靶面安装,理论要求是各出气口压力均等,但在布气过程中,总是接近管道进气口的压力要高于远端压力,这样由于布气的不均匀造成了镀膜品质的下降。为了达到布气的均匀,我们必须克服管道进气口与远端的压力差。
发明内容
本发明的目的是针对目前真空室的布气系统中,管道进气口与远端存在压力差,布气不均匀,造成镀膜品质不高的问题,提出一种真空镀膜用布气系统,通过二次布气达到了布气的均匀性,在使用过程中,通过对镀膜均匀性的检测,取得了良好的效果。
本发明的技术方案是:
一种真空镀膜用布气系统,它包括套装的第一布气管、第二布气管和隔片,所述的第一布气管上设有多个第一出气孔,第二布气管上,平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔,第一布气管和第二布气管的两端封闭,第一布气管的一侧为进气孔,隔片横向或斜向设置在第二布气管内,使得第二布气管形成两腔体,隔片的两端与第二布气管有一定缝隙,第一布气管安装在第二布气管内背向真空镀膜靶面的腔体内。
本发明的隔片为一薄板,该隔片斜向安插在第二布气管中。
本发明的隔片与水平面呈45度设置。
本发明的第二布气管为一方形管,第一布气管为一圆形管。
本发明的方形管的尺寸为15×15mm。
本发明的第一布气管上均匀设置多个第一出气孔,所述的第一出气孔的孔径为3mm。
本发明的第二布气管上均匀设置多个第二出气孔,所述的第二出气孔的孔径为0.5mm。
本发明的有益效果:
本发明通过二次布气,达到了布气的均匀性,在使用过程中,通过对镀膜均匀性的检测,取得了良好的效果。
附图说明
图1是传统布气系统的结构示意图。
图2是本发明的布气系统的结构示意图。
图3是本发明的布气系统的剖面结构示意图。
图中:1、第一布气管;2、第二布气管;3、隔片;
4、第一出气孔;5、第二出气孔;6、进气孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
如图2、3所示,一种真空镀膜用布气系统,它包括套装的第一布气管1、第二布气管2和隔片3,所述的第一布气管1上设有多个第一出气孔4,第二布气管2上,平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔5,第一布气管1和第二布气管2的两端封闭,第一布气管1的一侧为进气孔6,隔片3横向或斜向设置在第二布气管2内,使得第二布气管2形成两腔体,隔片3的两端与第二布气管2有一定缝隙,第一布气管1安装在第二布气管2内背向真空镀膜靶面的腔体内。
本发明的隔片3为一薄板,该隔片3斜向安插在第二布气管2中;所述的隔片3与水平面呈45度设置。
本发明的第二布气管2为一方形管,第一布气管1为一圆形管;所述的方形管的尺寸为15×15mm。
本发明的第一布气管1上均匀设置多个第一出气孔4,所述的第一出气孔4的孔径为3mm;第二布气管2上均匀设置多个第二出气孔5,所述的第二出气孔5的孔径为0.5mm。
具体实施时:
本发明利用15*15mm的方管沿对角线插入一片薄板,将方管隔离成2个腔室,两端封闭。按原有的布气方式将压力不平衡的气体布入方管的第一个腔体,然后由薄板缝隙间将气体均匀的溢流至第二个腔体,在第二个腔体平行于靶面的方向用激光穿0.5mm均匀排布的出气孔,通过2次布气,达到了布气的均匀性,在使用过程中,通过对镀膜均匀性的检测,取得了良好的效果。
本发明未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
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