[发明专利]氧氮化铝涂覆的物品及其制造方法

权利要求书

1.一种用于制造涂覆的物品的方法，该方法包括以下步骤：

提供一个基底；

由一种气态混合物沉积一个氧氮化铝涂层，该气态混合物包括：

量值在该气态混合物的大约30.0的体积百分比与大约65.0的体积百分比之间的氮气；

量值在该气态混合物的大约0.5的体积百分比与大约1.3的体积百分比之间的三氯化铝；

量值在该气态混合物的大约1.0的体积百分比与大约2.0的体积百分比之间的氨；

量值在该气态混合物的大约0.1的体积百分比与大约1.6的体积百分比之间的二氧化碳；

量值在该气态混合物的大约1.5的体积百分比与大约4.5的体积百分比之间的氯化氢；

任选地量值在该气态混合物的大约0的体积百分比与大约2.0的体积百分比之间的一氧化碳；

任选地量值在该气态混合物的大约0的体积百分比与大约25的体积百分比之间的氩气；以及

作为余量的氢气。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，该沉积步骤在大约750℃与大约1020℃之间的温度下发生。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，该沉积步骤在大约850℃与大约950℃之间的温度下发生。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，该沉积步骤在大约10毫巴与大约900毫巴之间的压力下发生。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，该沉积步骤在大约50毫巴与大约100毫巴之间的压力下发生。

6.根据权利要求1所述的方法，其中在该气态混合物中包括：

量值在该气态混合物的大约30的体积百分比与大约40的体积百分比之间的氮气；

量值在该气态混合物的大约0.5的体积百分比与大约1.3的体积百分比之间的三氯化铝；

量值在该气态混合物的大约1.0的体积百分比与大约2.0的体积百分比之间的氨；

量值在该气态混合物的大约0.2的体积百分比与大约1.5的体积百分比之间的二氧化碳；

量值在该气态混合物的大约1.5的体积百分比与大约3.0的体积百分比之间的氯化氢；

任选地量值在该气态混合物的大约0的体积百分比与大约2.0的体积百分比之间的一氧化碳；

任选地量值在该气态混合物的大约0的体积百分比与大约25的体积百分比之间的氩；以及

作为余量的氢气。

7.根据权利要求6所述的方法，其中在该气态混合物中包括量值在该气态混合物的大约0.2的体积百分比与大约0.6的体积百分比之间的二氧化碳。

8.根据权利要求6所述的方法，其中在该气态混合物中包括量值在该气态混合物的大约0.7的体积百分比与大约1.5的体积百分比之间的二氧化碳。

9.根据权利要求6所述的方法，其中在该气态混合物中包括量值在该气态混合物的大约0.5的体积百分比与大约1.3的体积百分比之间的二氧化碳。

10.根据权利要求1所述的方法，其中在该气态混合物中包括：

量值在该气态混合物的大约40的体积百分比与大约50的体积百分比之间的氮气；

量值在该气态混合物的大约0.6的体积百分比与大约1.0的体积百分比之间的三氯化铝；

量值在该气态混合物的大约1.0的体积百分比与大约1.6的体积百分比之间的氨；

量值在该气态混合物的大约0.6的体积百分比与大约1.4的体积百分比之间的二氧化碳；

量值在该气态混合物的大约1.5的体积百分比与大约2.5的体积百分比之间的氯化氢；

任选地量值在该气态混合物的大约0的体积百分比与大约2.0的体积百分比之间的一氧化碳；

任选地量值在该气态混合物的大约0的体积百分比与大约25的体积百分比之间的氩气；以及

作为余量的氢气。