[发明专利]玻璃微粒堆叠体的制造方法无效
| 申请号： | 201210068716.6 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN102674681A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 樱井雅之 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/012 | 分类号： | C03B37/012 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 微粒 堆叠 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，在该方法中，向反应容器内的标靶上喷射并堆叠通过喷管的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒，
该制造方法的特征在于，
在所述喷管的附近，设置向所述反应容器内导入净化空气的净化空气导入口，并且在与所述净化空气导入口相反的一侧，设置将所述反应容器内的气体排出的排气口，
在向所述标靶上堆叠所述玻璃微粒时，从所述净化空气导入口，向所述反应容器内供给温度大于或等于10℃而小于或等于40℃、湿度大于或等于30％而小于或等于70％、大于或等于0.3μm的浮尘的量小于或等于100个/CF的净化空气。
2.根据权利要求1所述的玻璃微粒堆叠体的制造方法，其特征在于，
通过对所述净化空气进行整流，从而将所述净化空气导入口处的所述净化空气的流速以使其变化幅度落在10％以内的方式进行均匀化，并向所述反应容器内供给。
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