[发明专利]一种真空吸持装置及真空吸持方法

权利要求书

1.一种应用于平板显示装置制造的真空吸持装置，其特征在于：

所述真空吸持装置包括监测单元、各自独立的第一真空回路和第二真空回路；

所述第一真空回路包括依次连接的第一真空吸嘴、第一真空管以及第一真空源；

所述第二真空回路包括依次连接的第二真空吸嘴、第二真空管以及第二真空源；

所述第一真空吸嘴和第二真空吸嘴共同形成吸持区，所述监测单元用于监测第一真空回路和第二真空回路的工作状态；

其中，当所述监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行；当所述监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使吸持操作停止进行。

2.根据权利要求1所述的真空吸持装置，其特征在于，所述真空吸持装置包括气压显示单元，所述气压显示单元连接监测单元，显示监测单元监测到的第一真空回路和第二真空回路中的气压值。

3.根据权利要求2所述的真空吸持装置，其特征在于，所述气压显示单元为真空表。

4.根据权利要求1所述的真空吸持装置，其特征在于，所述真空吸持装置包括连接监测单元的报警单元，所述报警单元在监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作不正常时进行报警。

5.根据权利要求4所述的真空吸持装置，其特征在于，所述报警单元在监测单元监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，进行双真空回路同时异常的报警，并提示停止吸持操作；在监测单元监测到第一真空回路或第二真空回路工作不正常时，进行相应真空回路异常的报警。

6.根据权利要求4所述的真空吸持装置，其特征在于，所述报警单元为警示灯或警铃。

7.根据权利要求1所述的真空吸持装置，其特征在于，所述真空吸持装置包括移动臂，所述第一真空吸嘴和第二真空吸嘴均设置于移动臂上。

8.一种真空吸持方法，其特征在于，包括：

抽取各自独立的第一真空回路和第二真空回路的空气，使所述第一真空回路中的第一真空管和所述第二真空回路中的第二真空管均形成真空，以使所述第一真空回路中的第一真空吸嘴和所述第二真空回路中的第二真空吸嘴进行吸持操作；

在进行所述吸持操作过程中监测第一真空回路和第二真空回路的工作状态；

在监测到所述第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使所述吸持操作继续进行；在监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使所述吸持操作停止进行。

9.根据权利要求8所述的真空吸持方法，其特征在于，所述在监测到第一真空回路和第二真空回路均工作不正常时，使吸持操作停止进行的步骤的同时或之后包括：

进行双真空回路同时异常的报警，并提示停止吸持操作。

10.根据权利要求8所述的真空吸持方法，其特征在于，所述在监测到第一真空回路和第二真空回路中至少一个真空回路工作正常时，使吸持操作继续进行的步骤包括：

在监测到第一真空回路和第二真空回路均工作正常时，使吸持操作继续进行；在监测到第一真空回路或第二真空回路工作不正常时，使吸持操作继续进行，并进行相应真空回路异常的报警。