[发明专利]镀敷设备和镀敷方法

权利要求书

1.一种镀敷设备，其特征在于，所述镀敷设备包括：

镀敷部，所述镀敷部用于镀敷基板；

基板保持器，所述基板保持器用于保持所述基板；

基板保持器运送器，所述基板保持器运送器用于保持和运送所述基板保持器；

贮藏部，所述贮藏部用于存储所述基板保持器；和

贮藏部安装部分，所述贮藏部安装部分用于将所述贮藏部存储在所述贮藏部安装部分中；

其中，所述贮藏部包括移动机构，所述移动机构用于将所述贮藏部移入所述贮藏部安装部分和从所述贮藏部安装部分移出所述贮藏部。

2.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，所述移动机构包括脚轮，所述脚轮用于从所述镀敷设备移动和分离所述贮藏部。

3.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，所述贮藏部安装部分包括：

门，所述门能够选择性地打开和闭合；和

4.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，所述基板保持器运送器包括传感器，所述传感器用于检测所述基板保持器当前是否位于所述贮藏部中，或者检测所述基板保持器在所述贮藏部中的所述位置。

5.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，进一步包括：

控制器，所述控制器用于监测和控制所述基板保持器运送器和所述贮藏部安装部分的状态；和

指示部分，所述指示部分用于向所述控制器指示所述贮藏部的移动。

6.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，所述贮藏部包括锁销把手，所述锁销把手用于将所述贮藏部锁在所述贮藏部安装部分中，并且所述贮藏部安装部分包括用于与所述锁销把手接合的锁销接收部。

7.如权利要求1所述的镀敷设备，其特征在于，所述贮藏部安装部分包括用于限制所述门的开启的门开关和用于限制所述闸板的打开的闸板开关，其中，所述门开关和所述闸板开关彼此协同工作。

8.一种用于控制镀敷设备自动地执行步骤的镀敷方法，其特征在于，包括以下步骤：

将基板保持器从贮藏部移出；

使用基板保持器保持基板；

使用基板保持器运送器将保持所述基板的所述基板保持器运送到镀敷部；

在所述镀敷部中对所述基板进行镀敷；和

使用所述基板保持器运送器将所述基板保持器运送回所述贮藏部；

其中，所述镀敷方法包括：当所述镀敷设备在自动地执行上述步骤时，使用所述贮藏部的移动机构将所述贮藏部从所述镀敷设备中移出。

9.如权利要求8所述的镀敷方法，其特征在于，所述移动机构包括脚轮，所述脚轮用于从所述镀敷设备移动和分离所述贮藏部。

10.如权利要求8所述的镀敷方法，其特征在于，进一步包括：

在所述镀敷设备自动地执行上述步骤时，在所述贮藏部被移动出所述镀敷设备前，向所述镀敷设备的控制器指示所述贮藏部移出所述镀敷设备。

11.如权利要求8所述的镀敷方法，其特征在于，进一步包括：

在所述贮藏部被移出所述镀敷设备前，闭合闸板以将所述镀敷设备内部与外界空气隔离；和

在所述贮藏部已被移动进入所述镀敷设备后，打开所述闸板，以允许所述基板保持器运送器触碰所述贮藏部。

12.一种用于存储在镀敷设备中使用的基板保持器的贮藏部，其特征在于，所述贮藏部包括：

基板保持器存储区，所述基板保持器存储区用于在该基板保持器存储区中存储所述基板保持器；和

移动机构；

其中，所述贮藏部通过所述移动机构被从所述镀敷设备移动和分离。

13.如权利要求12所述的贮藏部，其特征在于，所述贮藏部包括设置在所述贮藏部底部的排水盘。

14.如权利要求12所述的贮藏部，其特征在于，所述基板保持器存储区能够在该基板保持器存储区中存储阳极保持器。

15.一种用于存储镀敷设备中使用的阳极保持器的贮藏部，其特征在于，所述贮藏部包括：

阳极保持器存储区，所述阳极保持器存储区用于在该阳极保持器存储区中存储所述阳极保持器；

排水盘，所述排水盘设置在所述贮藏部的底部；和

移动机构；

其中，所述贮藏部通过所述移动机构被从所述镀敷设备移动和分离。