[发明专利]扩散炉控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工艺，特别涉及用于太阳能器件制造中的扩散和氧化工艺的扩散炉的控制。

背景技术

扩散炉可用于硅片等太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺，也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊温度处理。扩散炉整机由计算机控制，包括控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分，各部分软、硬件联锁。在操作部分通常采用触摸屏作为输入输出设备。扩散炉工作过程中的工艺参数的设置及运行均在触摸屏上直接进行。整个系统通常采用的是“1对1”的监控模式，即一台触摸显示屏控制一根扩散管，该管温控信息、推舟状态、气源控制均在触摸屏上显示，日常操作通过操作人员触摸点击触摸屏来完成。

但是在实际的生产使用过程中，现有的监控模式并不方便，使得员工在操作时常常遇到“高的高、低的低”的尴尬局面，即，出于提高设备空间利用率的考虑，多台触摸设备必须层叠放置，因而导致有些设备被放置到较高的位置，而有些设备直接被放置在地面上，或者仅仅比地面稍高的位置。这就使得操作极不方便，进而导致误操作的出现，容易给生产造成损失。

而且，目前应用在扩散炉控制中的触摸屏产品在质量和性能之间尚不能达到理想的平衡，配件故障率较高。主要表现为屏幕经过一定次数的点击和冲击后触摸屏就常常会损坏，无法触摸输入或者无法显示，给生产带来极大的隐患。

发明内容

本发明的一个方面公开了一种扩散炉控制装置，包括：监视和控制所述扩散炉中多根扩散管的多个工控主机，每一工控主机与一根扩散管相连，与所述多个工控主机相连的交换机，以及与交换机相连的输入设备和显示设备，其中，将各个工控主机采集到的数据和信息通过所述交换机转至所述显示设备上，所述输入设备输入的控制指令通过所述交换机转至预定的工控主机。

根据本发明的一个方面的扩散炉控制装置，其中所述输入设备和显示设备是触摸屏。

根据本发明的一个方面的扩散炉控制装置，其中所述输入设备是键盘和鼠标。

根据本发明的一个方面的扩散炉控制装置，其中输入设备在接收到特定的输入指令后切换监视和控制的目标。

本发明的一个方面公开了一种扩散炉系统，包括：扩散炉中的多根扩散管，以及扩散炉控制装置，其包括：监视和控制所述扩散炉中的多根扩散管的多个工控主机，每一工控主机与一根扩散管相连，与所述多个工控主机相连的交换机，以及与交换机相连的输入设备和显示设备，其中，将各个工控主机采集到的数据和信息通过所述交换机转至所述显示设备上，所述输入设备输入的控制指令通过所述交换机转至预定的工控主机。

根据本发明的一个方面的扩散炉系统，其中所述输入设备和显示设备是触摸屏。

根据本发明的一个方面的扩散炉系统，其中所述输入设备是键盘和鼠标。

根据本发明的一个方面的扩散炉系统，其中输入设备在接收到特定的输入指令后切换监视和控制的目标。

本发明的一个方面公开了一种扩散炉控制方法，包括：收集所述扩散炉中多根扩散管的数据和信息，以及在同一台显示设备上显示多根扩散管的数据和信息。

根据本发明的一个方面的扩散炉控制方法，还包括通过一台输入装置对多根扩散管进行控制。

通过本发明，可以降低操作人员的工作强度，进而减少误操作的产生。

附图说明

通过阅读以下详细说明，并参考附图，可以对本发明有一个更全面的了解。附图中：

图1示出了现有技术中的扩散炉控制模式；

图2示出了根据本发明的一个实施例的扩散炉控制模式；

图3示出了根据本发明的另一个实施例的扩散炉控制模式。

具体实施方式

如图1所示，现有的扩散炉控制系统主要包括工控主机和显示屏。工控主机，即工业控制计算机，又称过程计算机，其负责采集来自扩散管工作过程的数据和信息，并接受来自操作人员的控制指令对扩散管的工作过程进行控制。图1中的显示屏不仅向操作人员显示所接收到的工控主机采集的数据和信息，而且在现有技术中常常是触摸屏，因而操作人员也能够通过对屏幕的触控向工控主机发出控制指令，并进而由工控主机向与其相连接的扩散管发出控制命令。