[发明专利]氯硅烷取样系统无效
申请号: | 201210070326.2 | 申请日: | 2012-03-16 |
公开(公告)号: | CN102589924A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 王恒孝;胡小冬;王岭;刘建锋;黎展荣;蒲晓东;唐猷成 | 申请(专利权)人: | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
主分类号: | G01N1/02 | 分类号: | G01N1/02 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 刘雪莲;林辉轮 |
地址: | 614000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅烷 取样 系统 | ||
1.氯硅烷取样系统,包括取样器主体(1)、样品输入装置、样品输出装置,所述取样器主体包括取样瓶(101)、压盖(104)、取样器输入口(102)和取样器输出口(103),所述样品输入装置通过管线、进口二位三通阀(2)与取样器输入口(102)连通;所述样品输出装置通过管线、出口二位三通阀(3)与取样器输出口连通,其特征在于:所述进口二位三通阀(2)与样品输入装置之间还通过管线Ⅰ(11)连接有保护气体输入装置,所述出口二位三通阀(3)与样品输出装置之间还通过管线Ⅱ(12)连接有保护气体输出装置;所述进口二位三通阀(2)和所述出口二位三通阀(3)之间还连接有取样瓶旁路管道(8)。
2.根据权利要求1所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所述保护气体输入装置包括阀门Ⅲ(7),所述进口二位三通阀(2)与样品输入装置之间通过管线Ⅰ(11)与阀门Ⅲ(7)连接。
3.根据权利要求2所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所述样品输入装置包括阀门Ⅰ(4),所述管线Ⅰ(11)输入端与所述阀门Ⅲ(7)的输出口连接,所述管线Ⅰ(11)的输出端与阀门Ⅰ(4)的输出口连接。
4.根据权利要求1所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:保护气体输出装置包括阀门Ⅳ(6),所述出口二位三通阀(3)与样品输出装置之间通过管线Ⅱ(12)与阀门Ⅳ(6)连接。
5.根据权利要求4所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所述样品输出装置包括阀门Ⅱ(5),所述管线Ⅱ(12)输出端与所述阀门Ⅳ(6)的输入口连接,所述管线Ⅱ(12)输入端与阀门Ⅱ(5)的输出口连接。
6.根据权利要求2-5任意一项所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所述阀门Ⅰ(4)、阀门Ⅱ(5)、阀门Ⅲ(7)和阀门Ⅳ(6)均为针型阀。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所述压盖(104)中心开有孔。
8.根据权利要求1-5任意一项所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:压盖(104)与取样瓶(101)的筒体之间设置有胶垫。
9.根据权利要求1-5任意一项所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所述样品输出装置管路终端连接有贮罐(9),所述保护气体输出装置管路终端连接有废气处理装置(10)。
10.根据权利要求1-5任意一项所述的氯硅烷取样系统,其特征在于:所取样瓶(101)设置有可供观察的视窗。
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