[发明专利]具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器

权利要求书

1.一种具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器，包括直流电极、压电薄膜堆栈和化学敏感涂层和声隔离层，其特征在于，具有第一直流电极(1)和第二直流电极(2)进行化学敏感涂层(4)电阻变化的检测。

2.根据权利要求1所述的具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征是，所述的第一直流电极(1)和第二直流电极(2)设置于压电薄膜堆栈中压电薄膜(3)的上表面，其垂直覆盖区域不与压电薄膜堆栈的射频下电极(6)重合。

3.根据权利要求1所述的具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征是，所述的第一直流电极(1)和第二直流电极(2)分别设置于化学敏感涂层(4)下方的两侧，被化学敏感涂层(4)覆盖部分区域，其优选的覆盖区域分别为第一直流电极(1)和第二直流电极面积(2)的二分之一到三分之二。

4.根据权利要求1所述的具有直流电极的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征是，所述的第一直流电极(1)和第二直流电极(2)为金、银或铝材料，其优选的厚度为0.1到0.3微米。