[发明专利]加热器单元和热处理装置

权利要求书

1.一种加热器单元，其特征在于包括：

热源，放射红外线；

滤光器，与所述热源邻接设置，切断规定波长以上的红外线；以及

透光部件，与所述滤光器相对，从所述滤光器分离开，设置在与所述热源相反的一侧，使透射过所述滤光器的红外线透射。

2.根据权利要求1所述的加热器单元，其特征在于，所述滤光器和所述透光部件之间的空间被真空绝热。

3.根据权利要求1或2所述的加热器单元，其特征在于，所述滤光器和所述透光部件是石英玻璃制的。

4.一种热处理装置，其特征在于包括：

热处理炉，收容被处理件；

热源，放射红外线；

滤光器，与所述热源邻接设置，切断规定波长以上的红外线；以及

透光部件，与所述滤光器相对，从所述滤光器分离开，设置在与所述热源相反的一侧，使透射过所述滤光器的红外线透射，并把所述滤光器和所述热处理炉内的气氛分开。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，该热处理装置还包括传热阻止机构，该传热阻止机构阻止从所述滤光器表面释放的热量传递给所述透光部件。

6.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，所述滤光器和所述透光部件之间的空间被真空绝热。

7.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，设置有对所述滤光器的表面进行冷却的冷却机构。

8.根据权利要求4～7中任一项所述的热处理装置，其特征在于，该热处理装置还包括移动机构，该移动机构将所述被处理件移向所述热处理炉内的、与所述透光部件的红外线射出一侧相对的区域。