[发明专利]衬底处理装置和固体原料补充方法

权利要求书

1.一种衬底处理装置，包括：

处理室，能够收容衬底；以及

原料供给系统，使固体原料升华而生成上述衬底处理用的气体原料，并向上述处理室供给该气体原料，

上述原料供给系统包括：

固体原料容器，收容上述固体原料；

第1配管，连接于上述固体原料容器与上述处理室之间；以及

第2配管，与上述固体原料容器连接，且上述第2配管具有用于安装保持补充用的上述固体原料的原料补充容器的安装部。

2.一种衬底处理装置，包括：

处理室，能够收容衬底；

原料供给系统，使固体原料升华而生成上述衬底处理用的气体原料，并向上述处理室供给该气体原料；以及

控制部，

上述原料供给系统包括：

固体原料容器，收容上述固体原料；

第1配管，连接于上述固体原料容器与上述处理室之间；

第2配管，与上述固体原料容器连接，且上述第2配管具有用于安装保持补充用的上述固体原料的原料补充容器的安装部；

第3配管，连接于上述第2配管与真空排气机构之间；

第4配管，连接于上述第2配管，用于导入净化气体；

第1阀，连接于上述第3配管的中途；以及

第2阀，连接于上述第4配管的中途，

上述控制部是以下的控制机构，即，为了从上述原料补充容器向上述固体原料容器补充上述固体原料而将上述原料补充容器安装到上述安装部上时，控制上述真空排气机构、上述第1阀和上述第2阀，使得在对上述第2配管内进行抽真空之后向上述第2配管内导入上述净化气体。

3.根据权利要求1或2所述的衬底处理装置，

该衬底处理装置还包括：原料补充容器净化气体导入部安装部，用于安装向上述原料补充容器导入净化气体的上述原料补充容器的净化气体导入部；以及原料补充容器净化气体排出部安装部，用于安装从上述原料补充容器排出净化气体的上述原料补充容器的净化气体排出部，

上述控制部是如下的控制机构，即，为了从上述原料补充容器向上述固体原料容器补充上述固体原料而在上述安装部上安装上述原料补充容器，在上述原料补充容器净化气体导入部安装部上安装上述原料补充容器的净化气体导入部、在上述原料补充容器净化气体排出部安装部上安装上述原料补充容器的净化气体排出部时，控制上述真空排气机构、上述第1阀和上述第2阀，使得在对上述第2配管内进行抽真空之后向上述第2配管内导入上述净化气体，控制上述真空排气机构、上述第1阀、上述第2阀、上述净化气体导入部和上述净化气体排出部，使得从上述原料补充容器的净化气体导入部向上述原料补充容器导入上述净化气体，从上述原料补充容器的净化气体排出部排出上述净化气体。

4.一种衬底处理装置，包括：

处理室，能够收容衬底；以及

原料供给系统，使固体原料升华而生成上述衬底处理用的气体原料，并向上述处理室供给该气体原料，

上述原料供给系统包括：

固体原料容器，收容上述固体原料；

第1配管，连接于上述固体原料容器与上述处理室之间；

安装部，用于将保持补充用的上述固体原料的原料补充容器安装在上述固体原料容器上；

原料补充容器净化气体导入部安装部，用于安装向上述原料补充容器导入净化气体的上述原料补充容器的净化气体导入部；

原料补充容器净化气体排出部安装部，用于安装从上述原料补充容器排出净化气体的上述原料补充容器的净化气体排出部；以及

控制机构，为了从上述原料补充容器向上述固体原料容器补充上述固体原料而在上述安装部上安装上述原料补充容器，在上述原料补充容器净化气体导入部安装部上安装上述原料补充容器的净化气体导入部、在上述原料补充容器净化气体排出部安装部上安装上述原料补充容器的净化气体排出部时，控制上述净化气体导入部和上述净化气体排出部，使得从上述原料补充容器的净化气体导入部向上述原料补充容器导入上述净化气体，从上述原料补充容器的净化气体排出部排出上述净化气体。