[发明专利]一种电子枪中热阴极预处理方法有效
| 申请号： | 201210072672.4 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103325642A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘燕文;邓峰;刘濮鲲;张连正;许柯;张文荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | H01J9/04 | 分类号： | H01J9/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 热阴极 预处理 方法 | ||
1.一种电子枪中热阴极预处理方法，包括：
将电子枪中热子通电，升温热阴极至预处理温度，该预处理温度至少为900℃；
将热阴极在该预处理温度下至少保持1小时。
2.根据权利要求1所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述预处理温度的保持时间介于1小时至200小时之间。
3.根据权利要求1所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述预处理温度介于900℃至1500℃之间。
4.根据权利要求3所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述预处理温度比电子枪中热阴极的工作温度至少高50℃。
5.根据权利要求4所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述预处理温度比电子枪中热阴极的工作温度高100℃。
6.根据权利要求3所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述预处理温度介于1100℃至1200℃之间；所述预处理温度保持的时间介于10小时至100小时之间。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述将电子枪中热子通电，升温热阴极至预处理温度的步骤之前还包括：
将电子枪中热子和热阴极置于密闭空间内，对该密闭空间抽真空，抽真空后该密闭空间的真空度高于1×10-4Pa。
8.根据权利要求7所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述对密闭空间抽真空的步骤中：
抽真空后该密闭空间的真空度高于1×10-5Pa。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述将电子枪中热阴极升温至预处理温度的步骤中，热阴极的升温速率低于50℃/分钟。
10.根据权利要求9所述的电子枪中热阴极预处理方法，其中，所述热阴极的升温速率低于30℃/分钟。
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