[发明专利]一种用于低温光学系统的像方扫描装置及控制方法

权利要求书

1.一种用于低温光学系统的像方扫描装置，包括扫描机构外框(1)、垫块(2)、压电双晶片驱动器(3)、连杆机构(4)、固定轴扫描镜(5)、轴承(6)以及扫描驱动控制单元(7)，其特征在于，用于扫描镜驱动的压电双晶片驱动器(3)一端固定在扫描机构外框(1)上，中间用垫块(2)间隔，构成悬臂梁结构；固定轴扫描镜(5)轴端通过轴承(6)与扫描机构外框(1)连接；压电双晶片驱动器(3)的输出端通过连杆机构(4)与固定轴扫描镜(5)相连；扫描驱动控制单元(7)驱动扫描机构进行扫描工作。

所述的扫描驱动控制单元(7)，包括扫描波形控制模块(8)和高压驱动模块(9)，扫描波形控制模块(8)产生任意驱动波形，高压驱动模块(9)将扫描驱动波形进行高压功率放大。

2.根据权利要求1所述的一种用于低温光学系统的像方扫描装置，其特征在于，所述的连杆机构(4)、垫块(2)和扫描机构外框(1)采用殷钢材料。

3.根据权利要求1所述的一种用于低温光学系统的像方扫描装置，其特征在于，所述的固定轴扫描镜(5)采用微晶玻璃。

4.根据权利要求1的一种用于低温光学系统的像方扫描装置，其特征在于，所述的轴承(6)采用自润滑的陶瓷轴承。

5.一种如权利要求1所述装置的控制方法，其特征在于包括以下步骤：

1)扫描波形数据存储在扫描驱动控制单元(7)的扫描波形控制模块(8)中，扫描波形控制模块(8)控制输出电压波形的幅度和频率，读取波形数据并输出控制电压波形；

2)扫描系统驱动控制单元(7)的高压驱动模块(9)对扫描波形控制模块(8)输出的控制电压波形进行高压和功率的放大，达到压电双晶片驱动器(3)的驱动要求；

3)在高压驱动波形的驱动下，压电双晶片驱动器(3)发生弯曲变形，输出端面位置发生变化，并通过连杆机构(4)传递到固定轴扫描镜(5)的端面上，固定轴扫描镜(5)随之开始转动，进入扫描状态。