[发明专利]振动换能器

权利要求书

1.一种振动换能器，包括：

硅单晶衬底；

振动梁，其布置在硅单晶衬底上；

由硅材料制成的壳体，其包围振动梁以在振动梁周围保持间隙，并且与衬底一起形成真空室；

激励模块，其用于激励振动梁；以及

振动检测模块，其用于检测振动梁的振动；

其中，振动梁包括布置在真空室中的第一硅单晶振动梁和第二硅单晶振动梁，第一硅单晶振动梁和第二硅单晶振动梁中的每一个都具有其中与衬底表面垂直的方向上的截面厚度大于与衬底表面平行的方向上的截面厚度的截面形状，并且第一硅单晶振动梁和第二硅单晶振动梁布置成与衬底平行并且彼此平行，并且

其中，振动换能器进一步包括：

板状第一电极板，其布置成与衬底表面平行并且与第一振动梁和第二振动梁中的每一个的一端相连；

第二电极板，其布置成与衬底表面平行且处于第一振动梁和第二振动梁之间；

板状第三电极板和板状第四电极板，其布置在第一振动梁和第二振动梁的相对侧，第一振动梁和第二振动梁置于板状第三电极板和板状第四电极板之间，所述板状第三电极板和板状第四电极板与第一第二振动梁以及第一电极板和第二电极板共同形成与衬底表面平行的一个平面；以及

粗糙部，其布置在各振动梁和第二电极板、第三电极板及第四电极板的相对侧壁部分表面中，用于防止振动梁附着至第二电极板、第三电极板及第四电极板。

2.根据权利要求1所述的振动换能器，其中：

每个粗糙部都形成为相对于衬底的表面水平和/或垂直连续的栅格形状。

3.根据权利要求1或2所述的振动换能器，其中：

第一电极板被用作用于各振动梁的偏置电压电极板，第二电极板被用作用于各振动梁的振动检测电极板；以及

第三电极板和第四电极板被用作用于激励各振动梁的激励电极板。

4.根据权利要求1或2所述的振动换能器，其中：

第一电极板被用作用于各振动梁的偏置电压电极板，第二电极板被用作用于激励各振动梁的激励电极板；以及

第三电极板和第四电极板被用作用于检测各振动梁的振动的振动检测电极板。

5.根据权利要求1或2所述的振动换能器，其中：

第一电极板和第二电极板之一被用作激励电极和偏置电压电极，并且另一个被用作振动检测电极。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的振动换能器，进一步包括：

保护电极板，其布置在与不包括第一电极板、第二电极板、第三电极板和第四电极板的衬底表面平行的平面中，用于防止各个电极之间的串扰。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的振动换能器，其中：

振动梁包括两端固定的梁。